期刊文章详细信息
硅基/聚酰亚胺湿度敏感元件研究
Study on Si-substrate/polyimide humidity sensing device
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]黑龙江大学集成电路重点实验室,黑龙江哈尔滨150080
基 金：黑龙江大学集成电路重点实验室项目
年 份：2005
卷 号：22
期 号：6
起止页码：822-825
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSA-PROQEUST、JST、MR、ZGKJHX、ZMATH、核心刊
摘 要：硅基/聚酰亚胺湿度传感器是采用集成电路光刻工艺在硅衬底上制成了以PI材料为介质膜,以金、铝为电极的电容式湿度传感器。给出了聚酰亚胺(PI)材料的感湿机理,硅基/聚酰亚胺湿敏电容的结构,以及湿度传感器的制造工艺、湿敏特性、工作原理及应用等。测试结果表明,在相对湿度为10%-90%RH范围内C-%RH曲线线性度良好。
关 键 词：硅基 聚酰亚胺 湿度传感器 IC工艺
分 类 号：TN303]
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