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同济大学理学院精密光学工程技术研究所 收藏

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研究主题:多层膜    磁控溅射    反射率    软X射线    薄膜光学    

研究学科:机械类    电子信息类    轻工类    航空航天类    核工程类    

被引量:551H指数:12WOS: 26 EI: 117 北大核心: 125 CSCD: 126

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170 条 记 录,以下是 1-10

超短激光脉冲对硅表面微构造的研究 ( EI收录)
1
《中国激光》中国计量科学研究院光学材料与光谱实验室;复旦大学物理系表面物理国家重点实验室;同济大学物理系精密光学工程技术研究所 李平 王煜 冯国进 郑春弟 赵利 朱京涛  出版年:2006
国家自然科学基金(10321003)资助项目。
在特定的气体氛围下,用一定能量密度的超短脉冲激光连续照射单晶硅片表面,制备出表面具有准规则排列的微米量级锥形尖峰结构的“黑硅”新材料。不同背景气体下的实验表明,激光脉宽和背景气体对表面微构造的形成起着决定性的作用。具体分...
关键词:激光技术 表面微构造  超短激光脉冲 光辐射吸收  
高倍率及大孔径扩束器的光学系统设计 ( EI收录)
2
《中国激光》同济大学精密光学工程技术研究所 郝沛明 王鹏 王占山 鲁鸿雁  出版年:2003
高倍率及大孔径扩束器要求筒长短、口径大、轴上和轴外的像差都要很好地校正 ,所以光学系统的设计是非常困难的。论述了高倍率及大孔径扩束器的光学系统设计方法 ,给出了物镜通光口径为 2 0 0mm ,焦距为 4 0 0mm ,...
关键词:光学技术与仪器 大孔径扩束器  高倍率 像质评价  
ICF用Kirkpatrick-Baez型显微镜光学设计 ( EI收录)
3
《强激光与粒子束》同济大学精密光学工程技术研究所 穆宝忠 伊圣振 黄圣铃 王占山  出版年:2008
国家高技术发展计划项目;上海市博士后基金资助课题(05R214140)
提出了直接针对惯性约束聚变(ICF)诊断目标的X射线Kirkpatrick-Baez型显微镜的像差校正和光学设计方法。在校正掠入射细光束像散的基础上,推导了内爆压缩区全视场范围内的垂轴像差表达式,进而构建了系统的空间分辨...
关键词:Kirkpatrick-Baez型显微镜  惯性约束聚变 垂轴像差  空间分辨率
离子束辅助沉积薄膜工艺 ( EI收录)
4
《红外与激光工程》同济大学物理系精密光学工程技术研究所;光驰株式会社 王利 程鑫彬 王占山 唐骐 范滨  出版年:2007
国家重点基础研究发展计划资助项目(2007CB613206)
阐述了离子源在离子束清洗和离子束辅助薄膜沉积(IAD)中的应用;根据热力学原理及离子碰撞过程分析,研究了离子束辅助沉积过程中的能量传递过程,建立了薄膜折射率与离子辅助沉积过程中各物理量之间的关系模型;探讨了各种工艺条件对...
关键词:离子束清洗  离子束辅助沉积 离子能量传递  
F掺杂SnO_2电子结构的模拟计算 ( EI收录 SCI收录)
5
《物理学报》同济大学物理系;中国耀华玻璃集团公司 徐剑 黄水平 王占山 鲁大学 苑同锁  出版年:2007
国家自然科学基金(批准号:60544005)资助的课题.~~
采用基于密度泛函理论的平面波赝势方法对SnO2:F体系的电子结构进行了第一性原理模拟计算.用广义梯度近似方法优化SnO2:F体系的晶胞结构,计算了体系基态总能.通过确定F掺杂对O的优先替代位置,计算了SnO2:F的能带结...
关键词:F掺杂  SNO2 电子结构 态密度
带缓冲层的导模共振滤光片反射光谱特性 ( EI收录)
6
《光学学报》同济大学精密光学工程技术研究所 王振华 吴永刚 桑田 王占山 彭东功 焦宏飞 陈乃波 曹鸿  出版年:2008
国家自然科学基金(10576021)资助课题
将均质多层膜系设计中的缓冲层概念引入到反射导模共振滤光片的设计中,以研究缓冲层的增加对导模共振滤光片反射光谱特性的影响。设计并通过严格的耦合波理论计算了一、二、三、四通道导模共振反射滤光片光谱特性。在膜系设计中增加缓冲层...
关键词:薄膜光学 导模共振 光栅 反射滤光片  缓冲层
软X射线Mo/Si多层膜反射率拟合分析 ( EI收录)
7
《光学学报》同济大学精密光学工程技术研究所;中国科学院高能物理研究所 王洪昌 王占山 秦树基 李佛生 陈玲燕 朱杰 崔明启  出版年:2003
国家自然科学基金 (6 0 1780 2 1);上海市科技攻关项目(0 2 2 2 6 10 4 9)资助课题
由于多层膜的表界面粗糙度和材料之间的相互扩散等因素 ,导致多层膜的实际反射率小于理论计算的反射率 ,因此 ,多层膜结构参量的确定对镀膜工艺参量的标定具有重要意义。由于描述单个非理想粗糙界面散射的Stearns法适用于软X...
关键词:薄膜光学 软X射线 界面缺陷  参量估算  反射率拟合  钼/硅多层膜  标量散射理论  界面散射  光谱分辨率
低亚表面损伤石英光学基底的加工和检测技术 ( EI收录)
8
《强激光与粒子束》同济大学精密光学工程技术研究所;同济大学航空航天与力学学院;天津津航技术物理研究所天津市薄膜光学重点实验室 马彬 沈正祥 张众 贺鹏飞 季一勤 刘华松 刘丹丹 王占山  出版年:2010
国家自然科学基金项目(10825521);上海市科委基金项目(07DZ22302);上海市博士后科研资助计划(10R21416000);江苏省现代光学技术省重点实验室开放课题(KJS0901)
制备低亚表面损伤的超光滑光学基底,是获得高损伤阈值薄膜的前提条件。针对石英材料在不同加工工序中引入亚表面损伤层的差异,首先利用共焦显微成像结合光散射的层析扫描技术,对W10和W5牌号SiC磨料研磨后的亚表面缺陷进行了检测...
关键词:亚表面损伤层 共焦显微成像  光散射 化学腐蚀 刻蚀速率
周期多层膜Kirkpatrick-Baez显微镜成像性质分析 ( EI收录)
9
《强激光与粒子束》同济大学精密光学工程技术研究所;中国工程物理研究院激光聚变研究中心 伊圣振 穆宝忠 王新 黄圣铃 朱京涛 王占山 丁永坤 缪文勇 董建军  出版年:2009
国家高技术发展计划项目
分析了Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜的成像性质与周期多层膜元件间的关系。基于分辨力和集光效率要求,设计了KB显微镜的光学结构,模拟了KB系统的成像质量,用W/B4C周期多层膜反射镜进行了X射线成像实验,在...
关键词:Kirkpatrick  Baez显微镜  X射线成像  周期多层膜 像质
大相对口径轻量化卡塞格林系统主镜的加工检验 ( EI收录)
10
《光学学报》同济大学精密光学工程技术研究所;中国科学院上海技术物理研究所 付联效 吴永刚 李兴隆 郝沛明 王鹏  出版年:2008
介绍了卡塞格林系统的焦距为6000mm,系统的相对口径为1/10,主镜的口径为600mm,主镜相对口径为1/1.2,主镜的材料是微晶玻璃,背面打有盲孔,质量为原来的50%。由于主镜的相对口径比较大,而且经过轻量化,因此加...
关键词:光学设计 卡塞格林系统  主镜 大相对口径  轻量化
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