文献类型：期刊文章

作　　者：伊圣振[1] 穆宝忠[1] 王新[1] 黄圣铃[1] 朱京涛[1] 王占山[1] 丁永坤[2] 缪文勇[2] 董建军[2]

机构地区：[1]同济大学精密光学工程技术研究所,上海200092 [2]中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900

出　　处：《强激光与粒子束》

基　　金：国家高技术发展计划项目

年　　份：2009

卷　　号：21

期　　号：11

起止页码：1681-1685

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20094912531660)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：分析了Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜的成像性质与周期多层膜元件间的关系。基于分辨力和集光效率要求,设计了KB显微镜的光学结构,模拟了KB系统的成像质量,用W/B4C周期多层膜反射镜进行了X射线成像实验,在±100μm视场内得到优于5μm的空间分辨力结果。实验与模拟结果的对比表明,加工精度和球差是影响中心视场分辨力的关键因素,有效视场的大小受多层膜角度带宽的限制。

关 键 词：Kirkpatrick  Baez显微镜  X射线成像  周期多层膜 像质

分 类 号：O434.1]