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昆山光微电子有限公司 收藏

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研究主题:非制冷    红外焦平面阵列    红外吸收    读出    基底    

研究学科:电子信息类    自动化类    

被引量:12H指数:2北大核心: 7 CSCD: 4

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57 条 记 录,以下是 1-10

面向MEMS红外光源的高辐射率纳米硅结构制备
1
《仪表技术与传感器》中北大学电子测试技术国防科技重点实验室;中国科学院微电子研究所智能感知研发中心;沈阳理工大学理学院;昆山光微电子有限公司 刘卫兵 谭秋林 明安杰 孙西龙 毛海央 岱钦 张岳 姚俊 王玮冰 熊继军  出版年:2017
国家自然科学基金项目(61335008;61601455);国家高技术研究发展计划项目(2015AA042605);中科院-北大率先合作团队项目(XMXX201200019933);沈阳市科技计划项目(F16210600)
通过制备面向MEMS红外光源的高辐射率多晶硅纳米柱状结构和单晶硅纳米孔结构,以提升红外源表面辐射率,降低器件功耗。制备方法分别为反应离子刻蚀(reactive-ion-etching,RIE)及等离子浸没离子注入(pla...
关键词:MEMS红外光源  硅纳米结构 高辐射率  铝掩膜  反应离子刻蚀 等离子浸没离子注入  
晶圆级热电堆探测器测试技术的研究
2
《制造业自动化》中国科学院微电子研究所;昆山光微电子有限公司;东北电力大学自动化工程学院 叶雨欣 焦斌斌 孔延梅 刘瑞文 陈志强  出版年:2015
国家高技术研究发展计划:具有环境控制功能的典型微纳传感器多参数批量测试设备研发与应用(SS2013AA041109);江苏省自然基金:类太阳能翼板微结构的非制冷红外焦平面阵列的研究(BK2012219)
MEMS热电堆红外探测器在消费电子、医疗保健、智能家居、工业等领域的应用越来越广泛,其需求量也日益增加。因此如何降低器件的生产成本争取市场份额便成了器件生产商最关心问题。当前MEMS热电堆红外探测器的测试成本占据了其总成...
关键词:红外测试技术  热电堆探测器  晶圆级测试  
非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列电压温度系数的分析与优化(英文)
3
《微纳电子技术》中国科学院微电子研究所智能感知研究发展中心;中国科学院物联网研究发展中心;中国科学院大学;昆山光微电子有限公司 张强 刘瑞文 吕文龙 侯影 魏德波 刘超 薛惠琼 傅剑宇 王玮冰  出版年:2018
National Natural Science Foundation of China(61601455,61335008);National High-Tech R&D Program of China(863 Program)(2015AA042605);Leading Cooperation Team Between Chinese Academy of Science and Peking University(XMXX201200019933)
灵敏度是非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列(IRFPA)的一项重要性能指标。二极管结构的电压温度系数(VTC)对灵敏度有很大的影响。分析了二极管结构的设计参数和工艺参数对其电压温度系数的影响,仿真结果表明二极管的串联个数和...
关键词:电压温度系数(VTC)  PN结二极管 红外焦平面阵列(IRFPA)  灵敏度  微电子机械系统(MEMS)  
基于补偿算法的红外探测器非均匀性校正
4
《红外技术》中国科学院微电子研究所;昆山光微电子有限公司 张秋旋 王玮冰 李佳  出版年:2017
国家863计划(2015AA042605);国家自然科学基金面上项目(61370044);中科院-北大率先合作团队资助经费(201510280052)
由于工艺条件的限制,红外焦平面探测器各像元的非均匀性严重影响了红外图像质量,由红外焦平面非均匀性所导致的成像效果变差的问题已成为制约红外成像技术应用的瓶颈。基于FPGA为数据处理核心的硬件平台,采用领域平均算法结合加权滤...
关键词:红外焦平面 非均匀性校正 补偿算法  FPGA
面向MEMS红外光源的辐射增强结构设计
5
《激光与红外》中北大学;中国科学院微电子研究所智能感知研发中心;昆山光微电子有限公司 刘卫兵 明安杰 谭秋林 孟莹 孙西龙 毛海央 王玮冰 熊继军  出版年:2017
国家自然科学基金项目(No.61335008;No.61601455);国家高技术研究发展计划项目(No.2015AA042605)资助
针对常规TO封装下红外光源辐射量在一定光程下严重衰减的不足,基于自研的MEMS红外光源结构,提出了用于红外辐射增强的反射镜及用于光束准直的透镜封装结构,以期大幅提高光源有效辐射效率。本文基于Zemax软件对红外光源在光路...
关键词:MEMS红外光源  气体传感器 抛物面反射镜  准直透镜  辐射增强  
适用于MEMS振动陀螺仪的相位读出自校准方法
6
《微型机与应用》中国科学院微电子研究所;中国科学院物联网研究发展中心;中国科学院大学;昆山光微电子有限公司 许建军 王玮冰 李佳  出版年:2017
国家自然科学基金面上项目(61370044);国家863计划项目(2015AA042605);国际合作专项经费;中科院-北大率先合作团队资助项目(201510280052;XMXX201200019933);中国科学院科技服务网络计划(STS计划)项目
相比于传统陀螺仪,MEMS振动陀螺仪具有体积小、质量轻、功耗低、价格低廉等优势,但是由于其本身结构的局限性和工艺加工水平的限制,其在性能上还处于低精度陀螺仪的行列。目前已有若干MEMS自校准方案可以应用于MEMS振动陀螺...
关键词:微机械振动陀螺仪  自校准 精度  电信号
无TEC制冷电路下的红外成像温度补偿方法
7
《激光与红外》中国科学院微电子研究所;中国科学院物联网研究发展中心;昆山光微电子有限公司 徐梦龙 王玮冰 李佳  出版年:2017
国家863计划(No.2015AA042605);国家自然科学基金面上项目(No.61370044);中科院-北大率先合作团队资助经费(No.201510280052)资助
在红外成像系统中去除制冷电路来降低功耗和体积的方法已成为红外热成像仪的配置主流,但在无制冷电路的情况下,红外成像效果会受到环境温度以及自身发热的影响。本文设计了一种温度补偿的校正方法,采用了先标定后补偿的处理方案,在基于...
关键词:红外成像 无TEC  温度补偿校正  FPGA
基于可编程多轴控制器的红外传感器片上测试系统设计
8
《科学技术与工程》东北电力大学自动化工程学院;中国科学院微电子研究所;昆山光微电子有限公司 叶雨欣 焦斌斌 孙灵芳 孔延梅 刘瑞文  出版年:2014
国家高技术研究发展计划(SS2013AA041109)资助
探针测试台是一种传统半导体工艺中间测试设备,用于在硅片划片前测试电子器件性能、良率,并给出其在晶圆上分布的映射图表。目前国内外自动或半自动探针测试台都是针对传统IC电路设计,采用封闭式结构,无法根据传感器多变的特性、复杂...
关键词:可编程多轴控制器(programmable  MULTI-AXIS controller,PMAC)  自动探针台  开放式数控系统
非制冷光读出红外成像焦平面阵列探测器制作方法
9
[发明专利] 昆山光微电子有限公司 20120731陈大鹏 高超群  出版年:2015
本发明公开了一种非制冷光读出红外成像焦平面阵列探测器制作方法,该制作方法以多牺牲层技术为基础,在透明衬底上制作可动微悬臂梁阵列,利用微悬臂梁阵列的热——机械特性检出目标物体的红外辐射场分布。该制作方法可解决传统硅衬底上制...
高响应灵敏度悬臂梁结构
10
[实用新型] 昆山光微电子有限公司 20120106刘瑞文 焦斌斌 李志刚 孔延梅 卢狄克 陈大鹏  出版年:2012
本实用新型公开了一种高响应灵敏度悬臂梁结构,包括非金属层和金属层,所述金属层位于所述非金属层上侧面上,其特征在于:所述金属层和非金属层形成的悬臂梁呈规律的褶皱状。该悬臂梁结构制作简单,通过不同的各项异性刻蚀条件可制作出不...
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