文献类型：期刊文章

作　　者：张强[1,2,3] 刘瑞文[1] 吕文龙[1] 侯影[1,4] 魏德波[1,3] 刘超[1,3] 薛惠琼[1] 傅剑宇[1] 王玮冰[1,4]

Zhang Qiang;Liu Ruiwen;Lu Wenlong;Hou Ying;Wei Debo;Liu Chao;Xue Huiqiong;Fu Jianyu;Wang Weibing(Smart Sensing Research and Development Centre,Institute of Microelectronics,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100029,China;Research and Development Center for Internet of Things,Chinese Academy of Sciences,Wuxi 214028,China;University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100049,China;Kunshan Optical Microelectronics Co.Ltd.,Kunshan 215325,China)

机构地区：[1]中国科学院微电子研究所智能感知研究发展中心,北京100029 [2]中国科学院物联网研究发展中心,江苏无锡214028 [3]中国科学院大学,北京100049 [4]昆山光微电子有限公司,江苏昆山215325

出　　处：《微纳电子技术》

基　　金：National Natural Science Foundation of China(61601455,61335008);National High-Tech R&D Program of China(863 Program)(2015AA042605);Leading Cooperation Team Between Chinese Academy of Science and Peking University(XMXX201200019933)

年　　份：2018

卷　　号：55

期　　号：9

起止页码：617-624

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2017、CSA、CSA-PROQEUST、INSPEC、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：灵敏度是非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列（IRFPA）的一项重要性能指标。二极管结构的电压温度系数（VTC）对灵敏度有很大的影响。分析了二极管结构的设计参数和工艺参数对其电压温度系数的影响,仿真结果表明二极管的串联个数和pn结结面积是两项重要因素。因此,设计出6个串联＂阱＂形pn结的二极管结构,并对具有该结构的热敏二极管型红外焦平面阵列进行了流片。测试结果表明,在10μA正向偏置电流下,二极管结构的电压温度系数为8.2 mV/K,单个像素的灵敏度为19.1μV/K。不同结面积结构的测试结果表明,增加结面积能有效提升二极管结构的电压温度系数和灵敏度。

关 键 词：电压温度系数(VTC)  PN结二极管 红外焦平面阵列(IRFPA)  灵敏度  微电子机械系统(MEMS)  

分 类 号：TN215]