文献类型：期刊文章

作　　者：刘卫兵[1,2] 明安杰[2] 谭秋林[1] 孟莹[2] 孙西龙[2] 毛海央[2] 王玮冰[2,3] 熊继军[1]

机构地区：[1]中北大学,电子测试技术国防科技重点实验室,山西太原030051 [2]中国科学院微电子研究所智能感知研发中心,北京100029 [3]昆山光微电子有限公司,江苏苏州215325

出　　处：《激光与红外》

基　　金：国家自然科学基金项目(No.61335008;No.61601455);国家高技术研究发展计划项目(No.2015AA042605)资助

年　　份：2017

卷　　号：47

期　　号：11

起止页码：1386-1391

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、CAS、CSCD、CSCD2017_2018、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：针对常规TO封装下红外光源辐射量在一定光程下严重衰减的不足,基于自研的MEMS红外光源结构,提出了用于红外辐射增强的反射镜及用于光束准直的透镜封装结构,以期大幅提高光源有效辐射效率。本文基于Zemax软件对红外光源在光路中的辐射特性进行了模拟仿真。仿真结果表明:红外光源放置于9.52 mm口径、9.41 mm深度的抛物面反射镜的焦点位置,辐射能量提高了15.5倍;采用2.2 mm厚的BaF_2材料的双凸曲面辐射透镜,红外光线呈准直收敛辐射,辐射效率最大可以达到27.42%。本工作研究成果为红外光学气体传感器光源提供了合理的红外辐射增强结构尺寸参数,有效提高了系统的稳定性和光源的辐射效率。

关 键 词：MEMS红外光源  气体传感器 抛物面反射镜  准直透镜  辐射增强  

分 类 号：TN212]