文献类型：期刊文章

作　　者：许建军[1,2,3] 王玮冰[1,4] 李佳[1]

机构地区：[1]中国科学院微电子研究所,北京100020 [2]中国科学院物联网研究发展中心,江苏无锡214000 [3]中国科学院大学,北京100049 [4]昆山光微电子有限公司,江苏苏州215300

出　　处：《微型机与应用》

基　　金：国家自然科学基金面上项目(61370044);国家863计划项目(2015AA042605);国际合作专项经费;中科院-北大率先合作团队资助项目(201510280052;XMXX201200019933);中国科学院科技服务网络计划(STS计划)项目

年　　份：2017

卷　　号：36

期　　号：19

起止页码：41-44

语　　种：中文

收录情况：JST、普通刊

摘　　要：相比于传统陀螺仪,MEMS振动陀螺仪具有体积小、质量轻、功耗低、价格低廉等优势,但是由于其本身结构的局限性和工艺加工水平的限制,其在性能上还处于低精度陀螺仪的行列。目前已有若干MEMS自校准方案可以应用于MEMS振动陀螺仪以提高其精度指标,然而已有的技术存在着只能消除某一种因素对精度的影响、需要高精度转台系统支撑或者校准的灵敏度不高等不足。为解决上述问题,设计并提出了一种基于相位读出的MEMS振动陀螺仪自校准方案,该方案能消除工艺误差、器件老化、外部环境变化对陀螺仪精度的影响,而且该方案不需要高精度转台系统支撑、能够消除绝大部分因素对精度的影响、校准的灵敏度更高。实验仿真结果表明,该方案能实现MEMS振动陀螺仪的自校准,提高测量精度,扩大MEMS振动陀螺仪的适用范围。

关 键 词：微机械振动陀螺仪  自校准 精度  电信号

分 类 号：TP212.1]