文献类型：专利

专利类型：实用新型

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201220003583.X

申 请 日：20120106

发 明 人：刘瑞文 焦斌斌 李志刚 孔延梅 卢狄克 陈大鹏

申 请 人：昆山光微电子有限公司

申请人地址：215325 江苏省苏州市昆山市周庄镇大桥路145号

公 开 日：20120905

公 开 号：CN202415141U

代 理 人：盛建德

代理机构：32212 昆山四方专利事务所

语　　种：中文

摘　　要：本实用新型公开了一种高响应灵敏度悬臂梁结构，包括非金属层和金属层，所述金属层位于所述非金属层上侧面上，其特征在于：所述金属层和非金属层形成的悬臂梁呈规律的褶皱状。该悬臂梁结构制作简单，通过不同的各项异性刻蚀条件可制作出不同的褶皱悬臂梁结构，从而具有不同的响应灵敏度，从而为不同的应用提供了更大的选择空间，同时增加的褶皱结构使得双材料之间的粘附力得到增强。

主 权 项：1.一种高响应灵敏度悬臂梁结构，包括非金属层(1)和金属层(2)，所述金属层位于所述非金属层上侧面上，其特征在于：所述金属层和非金属层形成的悬臂梁呈规律的褶皱状。

关 键 词：悬臂梁结构  金属层  褶皱 响应灵敏度  刻蚀条件  褶皱结构  悬臂梁 粘附力 异性  侧面  

IPC专利分类号：B81B7/00(20060101)