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上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系 收藏

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研究主题:MEMS    多环    微机电系统    热流传感器    FPGA    

研究学科:自动化类    电子信息类    航空航天类    电气类    机械类    

被引量:259H指数:8WOS: 7 EI: 9 北大核心: 62 CSSCI: 1 CSCD: 42

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98 条 记 录,以下是 1-10

中国大陆集成电路产业发展态势与建议
1
《中国软科学》北京邮电大学电子工程学院;北京高国科技术有限责任公司;上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系 刘雯 马晓辉 刘武  出版年:2015
集成电路产业作为国家的核心战略产业,是各国关注的焦点。目前,随着技术的进步和市场的变革,全球集成电路产业正进入重大调整变革期。本文在对国际集成电路技术、产业和市场的发展趋势,国内集成电路发展态势和面临主要问题分析的基础上...
关键词:集成电路产业 产业链
锂离子电池硅基负极粘结剂发展现状
2
《化学学报》教育部薄膜与微细加工重点实验室上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系 王晓钰 张渝 马磊 魏良明  出版年:2019
国家自然科学基金(No.51272155)资助~~
在锂离子电池负极材料的研究中,硅材料以其高达4200mAh.g^-1的理论比容量,成为近年来新能源电池领域的研究热点.但是在锂化/去锂化过程中,硅负极体积变化高达300%,导致快速的容量衰减和较短的循环寿命.目前硅负极改...
关键词:锂离子电池 负极材料 硅负极  粘结剂
仿昆虫扑翼微飞行器研究现状与关键技术
3
《无人系统技术》微米/纳米加工技术重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海市北斗导航与位置服务重点实验室上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系 王晨阳 张卫平 邹阳  出版年:2018
预研项目(LZY2017206;LZY2016215;301020803;1620010701);教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET-10-0583);教育部支撑项目(6141A02022607);上海专业技术服务平台项目(16DZ2290103)
仿昆虫扑翼微飞行器基于对自然界中各类昆虫扑翼飞行机理的仿生,具有尺寸微小、隐蔽性高、灵活机动等优势。依据仿昆虫扑翼微飞行器所普遍采用的静电驱动、压电驱动、电机驱动、电磁驱动和其他驱动等扑翼驱动方式,依次分类介绍并总结目前...
关键词:仿生 昆虫 扑翼飞行  微型飞行器 微加工技术
基于STM32单片机的便携式室内空气质量检测仪
4
《传感器与微系统》薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系 曹伟洋 王涛 马宏莉 曾敏 杨建华 杨志  出版年:2022
国家自然科学基金资助项目(61971284,61671299,21703267);上海交通大学“深蓝计划”基金资助项目(SL2020ZD203,SL2020MS031);自然资源部第二海洋研究所基本科研业务费专项资金资助项目(SL2003)。
为解决室内空气质量检测仪器存在的检测精度低和体积笨重等问题,本研究基于STM32单片机,利用低功耗和高精度的金属氧化物气体传感器,设计并开发了一种新型的室内空气质量检测仪器,用于甲苯和甲醛等室内常见污染气体的实时检测。研...
关键词:金属氧化物气体传感器  STM32单片机 甲苯检测  甲醛检测  
MEMS薄膜热流传感器研制
5
《传感器与微系统》上海交通大学微米/纳米加工技术重点实验室;上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系;上海交通大学机械与动力工程学院 李娟 张丛春 杨申勇 丁桂甫 董威 段力  出版年:2019
基于微加工技术设计制备了一种微机电系统(MEMS)薄膜热流传感器。采用COMSOL软件,对不同结构参数MEMS薄膜热流计进行仿真模拟,通过对仿真结果对比和分析,优化热流传感器的设计参数。根据优化的设计参数利用MEMS工艺...
关键词:微机电系统技术 热流传感器 聚酰亚胺 COMSOL仿真  
FPGA控制DDS与AGC的精密信号发生系统研究
6
《仪表技术与传感器》上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系微米纳米加工技术国家级重点实验室 王振瑜 吴校生 叔晟竹  出版年:2019
微米纳米加工技术国家级重点实验室基金项目(9140C790402150C79005);上海市科委浦江人才计划(14PJD022)项目
信号频率分辨率和幅值分辨率是信号发生源性能好坏的重要指标。基于现场可编程门阵列(FPGA)的嵌入式系统,分别采用直接数字合成技术(DDS)和自动增益控制技术(AGC)实现了频率和幅值精密可调的信号发生系统。该信号发生源的...
关键词:信号发生 现场可编程门阵列  直接数字合成 自动增益控制 频率分辨率 幅值分辨率  
仿昆扑翼微飞行器中压电驱动器的性能参数分析 ( EI收录)
7
《上海交通大学学报》上海交通大学电子信息与电气工程学院 柴双双 张卫平 柯希俊 邹阳 张伟 叶以楠 张正 胡楠 吴凡 陈文元  出版年:2015
教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET10-0583);教育部支撑项目(62501040303);国防项目(9140A26020313JW03371);国防项目(9140A26020414JW03412)资助
针对仿昆扑翼微飞行器中压电驱动器的使用要求,采用复合材料的层合板理论和将能量法与实验法相结合的方法,推导了压电驱动器的静态位移、阻力、等效质量、刚度和阻尼系数的计算公式,得到压电驱动器的二阶集总参数模型.驱动器位移测试结...
关键词:扑翼微飞行器  压电驱动器 集总参数模型  
基于PID神经元网络的四旋翼飞行器姿态控制系统
8
《传感器与微系统》上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系 邹逸飞 刘武 严中稳 张卫平 崔峰(微米/纳米加工技术国家级重点实验室 上海市北斗导航与位置服务重点实验室  出版年:2020
航空基金资助项目(2016ZD57006);青岛海洋科学与技术国家实验室开放基金资助项目(QNLM2016ORP0404);上海市自然科学基金资助项目(17ZR1414500);预研项目(LZY2016215);上海市平台项目(16DZ2290103)
针对PID控制对于四旋翼飞行器这类强耦合系统参数整定困难和控制稳定性不足的问题,提出了基于PID神经元网络(PIDNN)的新型控制算法,并设计了基于STM32微处理器的微飞行器。MATLAB系统仿真和飞行测试结果表明,相...
关键词:四旋翼 PID神经元网络 STM32微处理器  姿态角  控制器
MEMS微半球谐振陀螺的力反馈模态及其FPGA平台实现
9
《仪表技术与传感器》微米/纳米加工国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海市北斗导航与位置服务重点实验室上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系 孙殿竣 张卫平 唐健 邢亚亮 欧彬 刘朝阳  出版年:2017
MEMS(micro-electro-mechanical system)微型陀螺仪具有体积小、质量轻、功耗低、成本低等优点,MEMS微半球谐振陀螺是MEMS微陀螺领域的研究热点,文中分析了微半球谐振陀螺的工作原理以及检...
关键词:MEMS微半球谐振陀螺  力反馈 闭环控制 FPGA
Pt/PtRh薄膜热电偶的动态性能研究
10
《传感器与微系统》上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室;上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系 王刚 姚锦元 王博 程萍 丁桂甫  出版年:2021
鉴于航空发动机部件温度高、温度变化快的特性,本文采用微机电系统(MEMS)工艺制备高温Pt-PtRh薄膜热电偶,分别搭建薄膜热电偶的静态标定和动态响应测试平台,对薄膜热电偶的热电输出特性进行了标定,结果表明:Pt-PtR...
关键词:Pt-PtRh  薄膜热电偶 静态标定  动态特性
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