文献类型：期刊文章

作　　者：孙殿竣[1] 张卫平[1] 唐健[1] 邢亚亮[1] 欧彬[1] 刘朝阳[1]

机构地区：[1]微米/纳米加工国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海市北斗导航与位置服务重点实验室上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,上海200240

出　　处：《仪表技术与传感器》

年　　份：2017

期　　号：6

起止页码：141-144

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、CSCD、CSCD_E2017_2018、IC、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：MEMS(micro-electro-mechanical system)微型陀螺仪具有体积小、质量轻、功耗低、成本低等优点,MEMS微半球谐振陀螺是MEMS微陀螺领域的研究热点,文中分析了微半球谐振陀螺的工作原理以及检测方法。针对MEMS微半球谐振陀螺高工作频率,高品质因数等特点,提供了一种数字式力反馈模式下的MEMS微半球谐振陀螺数字式闭环控制检测方案以及其FPGA平台硬件实现,完成目前MEMS微半球谐振陀螺的控制与检测工作。

关 键 词：MEMS微半球谐振陀螺  力反馈 闭环控制 FPGA

分 类 号：O327]