文献类型：期刊文章

作　　者：李娟[1,2] 张丛春[1,2] 杨申勇[1,2] 丁桂甫[1,2] 董威[1,3] 段力[2]

LI Juan;ZHANG Congchun;YANG Shenyong;DING Guifu;DONG Wei;DUAN Li(National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication,Shanghai Jiao Tong University,Shanghai 200240,China;Department of Micro/Nano Electronics,School of Electronic Information and Electrical Engineering,Shanghai Jiao Tong University,Shanghai 200240,China;School of Mechanical Engineering,Shanghai Jiao Tong University,Shanghai 200240,China)

机构地区：[1]上海交通大学微米/纳米加工技术重点实验室,上海200240 [2]上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,上海200240 [3]上海交通大学机械与动力工程学院,上海200240

出　　处：《传感器与微系统》

年　　份：2019

卷　　号：38

期　　号：5

起止页码：71-73

语　　种：中文

收录情况：CSCD、CSCD_E2019_2020、JST、RCCSE、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：基于微加工技术设计制备了一种微机电系统(MEMS)薄膜热流传感器。采用COMSOL软件,对不同结构参数MEMS薄膜热流计进行仿真模拟,通过对仿真结果对比和分析,优化热流传感器的设计参数。根据优化的设计参数利用MEMS工艺制备薄膜热流计。搭建了标定系统,对所制备的MEMS薄膜热流计进行性能测试和标定。实验结果表明:薄膜热流计的电压输出响应曲线的变化趋势和仿真结果一致,此外,薄膜热流计的输出电压和热流密度呈良好的线性关系。

关 键 词：微机电系统技术 热流传感器 聚酰亚胺 COMSOL仿真  

分 类 号：TP212]