苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料实验室 
研究主题：电子密度 液相法制备 液相法 ECR-CVD 氮化硅
研究学科：电气类
- 液相法制备掺氮碳膜的实验研究 ( EI收录)
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- 《功能材料》苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料实验室 沈明荣 许杞安 甘肇强 出版年：1999
- 关键词：液相法 制备 掺氮碳膜 实验
- 微波ECR-CVD低温SiN_x薄膜的氢含量分析 ( EI收录)
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- 《功能材料》苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料实验室 叶超 宁兆元 汪浩 沈明荣 甘肇强 出版年：1998
- 关键词：薄膜 氢含量 微波 ECR-CVD 低温 氮化硅
- 非对称轴向二极场下等离子体特性的研究
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- 《真空科学与技术》苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料实验室 叶超 宁兆元 出版年：1997
- 关键词：等离子体 电子回旋共振 轴向二极场 薄膜沉积
- D5的ECR放电等离子体质谱研究
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- 第十三届全国等离子体科学技术会议 2007张海燕 叶超 宁兆元 出版年：2007
- 氟基等离子体诊断以及在多晶硅太阳能电池制绒中应用研究
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- 第十五届全国等离子体科学技术会议 2011邹帅 辛煜 唐中华 吉亮亮 苏晓东 出版年：2011
- 关键词：电子密度 等离子体制绒 多晶硅 反射率 少子寿命
- 晶硅异质结电池金属化技术研究
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- 第十八届中国太阳级硅及光伏发电研讨会（18th CSPV） 2022曾玉莲 邹帅 苏晓东 出版年：2022
- 电负性气体的掺入对容性耦合Ar等离子体的影响
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- 第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会 2013洪布双 苑涛 唐中华 徐东升 虞一青 辛煜 出版年：2013
- 关键词：电负性等离子体 电子能量分布几率函数 电子密度 电子温度 电负度
