会议论文详细信息
D5的ECR放电等离子体质谱研究
文献类型：会议
作者单位：苏州大学物理科学与技术学院江苏省薄膜材料重点实验室
会议文献：第十三届全国等离子体科学技术会议论文集
会议名称：第十三届全国等离子体科学技术会议
会议日期：20070820
会议地点：中国四川成都
主办单位：中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会、中国核学会核聚变与等离子体物理学会、中国物理学会等离子体分会
出版日期：20070820
学会名称：中国力学学会
语 种：中文
摘 要：<正>~~
分 类 号：O539[物理学类]
参考文献：
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二级参考文献：
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耦合文献：
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引证文献：
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二级引证文献：
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同被引文献：
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