期刊文章详细信息
非对称轴向二极场下等离子体特性的研究
The Investigation of Plasma Characteristics in Non-symmetric Axial Two-pole Field
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料实验室,苏州215006
年 份：1997
卷 号：17
期 号：2
起止页码：106-109
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1996、CSCD、CSCD_E2011_2012、核心刊
摘 要：对非对称轴向二极场下等离子体的特性进行了分析，在这种微波从弱场向强场入射的情况下，可以形成高密度等离子体，其原因为：在低气压下，L波经过ω＝ωpe（电子等离子体频率）层时，转变为R波，然后在电子回旋共振（ECR）区被共振吸收；在高气压下，微波窗口附近的碰撞吸收和ECR区的共振吸收并存的结果。这对于进一步发展永磁微波ECR等离子体薄膜沉积技术以及探讨在微波ECR等离子体环境下的成膜机理是有利的。
关 键 词：等离子体 电子回旋共振 轴向二极场 薄膜沉积
分 类 号：O532.11] TB43[物理学类]
参考文献：
正在载入数据...
二级参考文献：
正在载入数据...
耦合文献：
正在载入数据...
引证文献：
正在载入数据...
二级引证文献：
正在载入数据...
同被引文献：
正在载入数据...
