文献类型：会议

作　　者：邹帅 辛煜 唐中华 吉亮亮 苏晓东

作者单位：苏州大学物理科学与技术学院江苏省薄膜材料重点实验室

基　　金：江苏省前瞻性产学研联合研究项目课题(批准号:BY2010125)

会议文献：第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集

会议名称：第十五届全国等离子体科学技术会议

会议日期：20110808

会议地点：中国安徽黄山

主办单位：中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会、中国物理学会等离子体物理分会、中国核学会核聚变与等离子体物理学会、第十五届全国等离子体科学技术会议组委会

出版日期：20110808

学会名称：中国力学学会

语　　种：中文

摘　　要：强电负性的氟基等离子体是有望替代多晶硅电池片表面湿法制绒的干法制绒技术,然而氟基等离子体特性以及多晶硅的干法制绒机制机制仍不清楚。本文利用悬浮性的微波共振探针进行了氟基射频等离子体电子密度的测量,并在氟-氧基等离子体中进行了多晶硅表面干法制绒研究。

关 键 词：电子密度 等离子体制绒  多晶硅 反射率 少子寿命

分 类 号：TM914.41] O536[物理学类]