文献类型：会议

作　　者：洪布双 苑涛 唐中华 徐东升 虞一青 辛煜

作者单位：苏州大学物理科学与技术学院,江苏省薄膜材料重点实验室

会议文献：第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会会议摘要集

会议名称：第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会

会议日期：20130815

会议地点：中国上海

主办单位：中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会、中国物理学会等离子体物理分会、中国核科学核聚变与等离子体物理学会

出版日期：20130815

学会名称：中国力学学会

语　　种：中文

摘　　要：近年来,由于电负性等离子体在微电子工业、光电子器件以及半导体工业上的大量应用,人们对电负性气体的测量愈发重视,并研究了多种电负性气体的性质。本文利用朗缪尔静电探针和悬浮型微波共振探针测量了单射频40.68MHz等离子体,研究了三种不同电负性气体(O_2、Cl_2、SF_6)在不同流量比下对容性耦合Ar等离子体参数产生的影响,着重分析了电子密度ne、电子温度Te以及EEPF的变化情况,然后根据Shindo提出的方法计算了混合等离子的电负度。为验证朗缪尔静电探针的测量结果,我们利用了优化后的微波共振探针对这两种方法的测量结果进行了对比。实验结果表明,在低气压放电单频容性耦合放电Ar等离子体中,电子分布呈现典型的双温麦氏分布。随着通入电负性气体流量的增加,实验测得的等离子体EEPF出现了高能峰位,由于体等离子体区的欧姆加热加剧,高能峰出现了类漂移现象。等离子体内的电子密度也由于电负性气体的通入消耗了大量用于激发和离解的中能电子而急剧下降,等离子体内的冷、热电子密度比也随之下降,尤其是在SF6/Ar等离子体中变化趋势最为显著。等离子体电子温度随着电负性气体流量比的增加而呈上升趋势。另外,通过同等条件下O_2/Ar、Cl_2/Ar和SF6/Ar等离子体电负度的对比,可以明显看出SF_6的电负性最强,Cl_2次之,而O_2的电负性最弱。电负性气体中的负离子特性与等离子体的EEPF和电子密度、电子温度变化息息相关,因此各类电负性气体性质的研究比较对了解电负性气体间特性非常有意义。

关 键 词：电负性等离子体  电子能量分布几率函数  电子密度 电子温度 电负度  

分 类 号：O53[物理学类]