上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室 
研究主题：MEMS 微机电系统 微电感 微陀螺 力学性能
研究学科：电子信息类 自动化类 电气类 机械类 航空航天类
- 磁性纳米粒子的制备及应用
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- 《磁性材料及器件》上海交通大学微纳米科学技术研究院 张效岩 王英 张亚非 出版年：2004
- 关键词：磁性纳米粒子 特性 制备 应用
- 蓝钨与紫钨氢还原法生产超细钨粉的比较 ( EI收录)
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- 《稀有金属材料与工程》上海交通大学;上海伟良企业发展有限公司 王岗 李海华 黄忠伟 陈美华 王庆康 钟伟良 出版年：2009
- 关键词：氧化钨 氢还原 超细钨粉
- 超厚SU-8负胶高深宽比结构及工艺研究 ( EI收录)
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- 《功能材料与器件学报》薄膜与微细技术教育部重点实验室 张金娅 陈迪 朱军 李建华 方华斌 杨斌 出版年：2005
- 关键词：UV-LIGA技术 SU-8胶 高深宽比微结构
- 电镀层均匀性的Ansys模拟与优化
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- 《新技术新工艺》上海交通大学微电子学院;上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点试验室微米/纳米加工技术国家级重点试验室 董久超 王磊 汤俊 刘瑞 汪红 戴旭涵 出版年：2008
- 关键词：微机电系统 电镀 均匀性 模拟 有限元分析
- RF平面螺旋微电感的物理模型
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- 《微细加工技术》上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室 王西宁 赵小林 周勇 蔡炳初 出版年：2003
- 关键词：RF微电感 物理模型
- MEMS铂薄膜温度传感器的电阻温度系数研究
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- 《传感技术学报》宁波中车时代传感技术有限公司;湖南汽车工程职业学院车辆工程学院;上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家重点实验室 侯晓伟 刘莉娜 吕阳 郑良广 张丛春 出版年：2020
- 关键词：铂电阻 温度传感器 微机电系统 热处理 电阻温度系数
- FeSiB/Cu/FeSiB多层膜巨磁阻抗效应研究 ( EI收录)
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- 《真空科学与技术》上海交通大学信息存储研究中心国家教育部薄膜与微细技术重点实验室 周勇 禹金强 赵小林 杨春生 出版年：2001
- 关键词：巨磁阻抗效应 非晶FeSiB薄膜 FeSiB/Cu/FeSiB多层膜 磁控溅射法 制备 结构
- 基于红外传感器的移动微机器人定位研究
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- 《传感器与微系统》上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室 毛玲 李振波 张大伟 陈佳品 出版年：2014
- 关键词：红外传感器 定位 微机器人
- BST薄膜铁电移相器研究进展
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- 《电子元件与材料》上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室 余慧春 徐爱兰 惠春 出版年：2005
- 关键词：微波技术 钛酸锶钡薄膜 铁电移相器 综述 介电性能
- SU-8胶与基底结合特性的实验研究
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- 《微细加工技术》上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室 刘景全 朱军 蔡炳初 陈迪 丁桂甫 赵小林 杨春生 出版年：2002
- 关键词：SU-8胶 基底结合特性 高深宽比 UV-LIGA 结合性 微机电系统
