上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室

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研究主题：MEMS    微机电系统    微电感    微陀螺    力学性能    

研究学科：电子信息类    自动化类    电气类    机械类    航空航天类    

被引量：466H指数：10WOS: 7 EI: 44 北大核心: 88 CSCD: 92