期刊文章详细信息
RF平面螺旋微电感的物理模型
A Physical Model for RF Planar Spiral Micro-inductors
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200030
年 份：2003
期 号：1
起止页码：57-60
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：为了在RF频率域内准确模拟RF平面螺旋微电感的性能,讨论了一种计算RF平面螺旋微电感的物理模型,此模型采用Greenhouse法计算微电感的电感量,在计算微电感Q值时,考虑了诸如涡流、衬底电阻及各种寄生电容等因素,寄生电容包括电感与终端引出层间的交叉电容,电感与衬底间的电容,衬底电容等。这种模型可以计算不同布局及参数的微电感,为微电感的设计及其性能的优化提供了一种很好的方法。
关 键 词：RF微电感 物理模型
分 类 号：TM55]
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