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兰州大学物理科学与技术学院电子材料研究所 收藏

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研究主题:半导体薄膜    放电等离子体    硅锗    弧光放电    弧光    

研究学科:电子信息类    电气类    

被引量:16H指数:3WOS: 2 EI: 4 北大核心: 3 CSCD: 3

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10 条 记 录,以下是 1-10

电润湿的研究进展
1
《液晶与显示》兰州大学电子材料研究所 孙志文 谢二庆 韩卫华 武丽慧 徐显波  出版年:2008
新世纪优秀人才支持计划(NoNCET-04-0975)
介绍了电润湿的研究背景以及基本理论和基于电润湿的单层结构彩色显示和三层结构彩色显示的基本原理。将电润湿显示的能耗、性能表现、色彩等与其他显示技术进行了比较,可以看到电润湿显示具有低能耗,相应时间快,色彩丰富等特点。它被认...
关键词:电润湿  显示  超疏水
溅射气压对HfO_2薄膜结构和光学性能的影响 ( EI收录)
2
《材料导报》兰州大学物理科学与技术学院电子材料研究所;运城学院物理与电子工程系 马紫微 苏玉荣 谢毅柱 赵海廷 刘利新 李健 谢二庆  出版年:2012
国家自然科学基金(10776010);表面工程技术国家级重点实验室基金(9140C5401010801)
HfO2薄膜的结构和光学性能与反应溅射时使用的气压有很强的依赖关系。薄膜的晶粒生长取向、生长速率和折射率明显受溅射气压的影响。所有的薄膜均为单斜相,晶粒尺寸在纳米量级。薄膜的折射率在1.92~2.08范围内变化,透过率大...
关键词:HfO2薄膜溅射法光学性能光学带隙  
纳米二氧化钛的制备及其在太阳能电池中的应用 ( EI收录)
3
《材料导报(纳米与新材料专辑)》兰州大学物理科学与技术学院电子材料研究所 武丽慧 张永哲 韩立中 康翠萍 赵建果 谢二庆  出版年:2008
教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET-04-0975);国家基础科学人才培养基金(NFFTBS No.J0630313)
静电纺丝是一种简单而常用的制备纳米线的方法。为了得到具有均匀颗粒以及附着性良好的薄膜从而应用于染料敏化太阳能电池光阳极,采用在电纺丝前驱体溶液中加入乙醇胺的方法,成功制备了与衬底附着良好的TiO_2纳米晶薄膜,并制备了不...
关键词:静电纺丝 乙醇胺 均匀纳米颗粒  太阳能电池
基于微模塑复制技术的聚合物微悬臂梁的研制 ( EI收录)
4
《微细加工技术》中国科学院电工研究所;中国科学院研究生院;兰州大学电子材料研究所 白英良 段辉高 韩立  出版年:2008
首先用电火花技术制作出不锈钢基座和悬臂梁,然后利用PDMS良好的柔性、弹性、复制分辨率以及良好的透气性能制作了过渡模版,通过二次复制的图形转移技术,制作了聚合物微悬臂梁。测试表明,所制作的聚合物悬臂梁基本满足悬臂梁工作的...
关键词:微悬臂梁 微模塑  聚合物  PDMS 固化  
利用RPCVD制备高质量应变SiGe薄膜
5
第十七届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 2011陈达 贾晓云 高晓强 刘肃 张苗  出版年:2011
硅锗作为新型微电子材料,近年来引起了人们广泛的关注与研究。以二氯硅烷(DCS)和锗烷(CeH4)为源,利用RPCVD在125mm<100>硅片衬底上制备了高质量的锗硅合金薄膜。通过高分辨透射电子显微镜、高分辨X射线衍射、...
关键词:硅锗异质材料  半导体薄膜 减压化学气相沉积  工艺参数
新型半导体薄膜材料的制备、结构和特性研究 ( EI收录)
6
《兰州大学学报(自然科学版)》兰州大学电子材料研究所;北京工业大学应用物理系 陈光华  出版年:1999
国家自然科学基金
主要介绍了研究所近20 年来在新型薄膜半导体材料的制备、结构及特性研究方面所取得的成就,尤其是对非晶硅碳和非晶硅锗( a  Si C∶ H 和a  Si Ge∶ H)薄膜、金刚石和类金刚石薄膜、立方氮化硼( c  ...
关键词:半导体薄膜 立方氮化硼薄膜 非晶硅 制备  结构  
利用RPCVD制备高质量应变SIGE薄膜
7
第十七届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 2011 出版年:2011
硅锗作为新型微电子材料,近年来引起了人们广泛的关注与研究.以二氯硅烷(DCS)和锗烷(CEH4)为源,利用RPCVD在125 MM<100>硅片衬底上制备了高质量的锗硅合金薄膜.通过高分辨透射电子显微镜、高分辨X射线衍射...
关键词:薄膜  减压化学气相沉积  硅锗 负载影响  
TiO2纳米管阵列的可控生长及其生长机理探讨
8
《宝鸡文理学院学报(自然科学版)》宝鸡文理学院纳米材料与技术应用研究所;兰州大学物理科学与技术学院电子材料研究所 康翠萍 杜炳 杨志怀 谢二庆  出版年:2015
陕西省教育厅项目(12JK0983);陕西省科技厅项目(2012JQ1011);宝鸡文理学院重点项目(ZK12047)
目的研究TiO2纳米管阵列的可控生长最佳条件及其生长机理。方法采用阳极氧化法在Ti箔上生长有序排列的TiO2纳米管阵列,用场发射扫描电镜(日立S-4800型)分析其表面与界面形貌,通过电流-时间曲线分析TiO2纳米管的生...
关键词:纳米管 阳极氧化 生长机理  有序排列  可控生长  
弧光放电化学气相沉积金刚石薄膜的方法
9
[发明专利] 北京市科学技术研究院;兰州大学电子材料研究所 19890919蒋翔六 张仿清  出版年:1990
一种弧光放电化学气相沉积金刚石薄膜的方法,它采用甲烷与氢气的混合气体为直流弧光放电等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的反应源气,甲烷在反应源气中的浓度控制在0.5~2.0%之间,反应中还适当增大了反应源气的流量,流量范围为2...
弧光放电化学气相沉积金刚石薄膜的方法
10
[发明专利] 北京市科学技术研究院;兰州大学电子材料研究所 19890919蒋翔六 张仿清  出版年:1992
一种弧光放电化学气相沉积金刚石薄膜的方法,它采用甲烷与氢气的混合气体为直流弧光放电等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的反应源气,甲烷在反应源气中的浓度控制在0.5~2.0%之间,反应中还适当增大了反应源气的流量,流量范围为2...
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