期刊文章详细信息
基于微模塑复制技术的聚合物微悬臂梁的研制 ( EI收录)
Fabrication of Micro-cantilever Based on Micro-molding Replication Techniques
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国科学院电工研究所,北京100190 [2]中国科学院研究生院,北京100093 [3]兰州大学电子材料研究所,兰州730170
年 份：2008
期 号：5
起止页码：35-36
语 种：中文
收录情况：EI(收录号：20090711905629)、SCOPUS、普通刊
摘 要：首先用电火花技术制作出不锈钢基座和悬臂梁,然后利用PDMS良好的柔性、弹性、复制分辨率以及良好的透气性能制作了过渡模版,通过二次复制的图形转移技术,制作了聚合物微悬臂梁。测试表明,所制作的聚合物悬臂梁基本满足悬臂梁工作的要求,利用该微模塑复制技术制备聚合物微悬臂梁的方法工艺简单、成本低、可批量生产,同时避免了刚性脱模带来的难题。根据实验,还给出了中温注射、低温固化、高温后固化的最佳工艺方法。
关 键 词：微悬臂梁 微模塑 聚合物 PDMS 固化
分 类 号：TN3]
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