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研究主题:集成电路    接触电阻    淀积    光刻    VDMOS器件    

研究学科:电子信息类    经济学类    自动化类    建筑类    环境科学与工程类    

被引量:87H指数:5北大核心: 14 CSCD: 10

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95 条 记 录,以下是 1-10

反渗透法制取电子级超纯水工艺的改进
1
《水处理技术》华越微电子有限公司 胡伟林  出版年:2001
在现代大型微电子工业用超纯水系统中二级反渗透 + N2 配合真空膜脱气 +三级混床的工艺属当今最新开发的工艺 ,在大型系统中应用很少 ,我们通过三年多的不断摸索、实践和优化改进 ,最终将该套具有技术先进、投资少、结构紧凑...
关键词:反渗透 真空膜脱气  混床 电子级 超纯水 工艺改进  电子工业用水  
新时期国有企业员工的思想工作探析
2
《经营管理者》绍兴市华越微电子有限公司 陈晓静  出版年:2012
随着市场经济的进一步发展,国有企业改革的力度也不断加大,各种矛盾不断出现,严重威胁着企业的顺利发展,强有力的思想政治工作是企业顺利改制的保证,因此,做好国有企业员工的思想政治工作有重要意义。在知识经济时代,国有企业面临着...
关键词:国有企业 员工思想工作  
国有企业资金管控的创新策略研究
3
《企业改革与管理》华越商业有限公司 田磊  出版年:2016
国有企业在我国市场经济中起着主导作用,是国民经济中不可缺少的必要经济主体之一,国有企业的发展对经济发展和社会福利具有重要的影响。随着经济的不断发展,一些企业利用现代企业制度来进行资产重组,以便实现战略转型,行业内多元化企...
关键词:国有企业 资金管理 资金控制  策略  创新  研究  
微电子工业生产废水处理及回收利用
4
《工业水处理》华越微电子有限公司 胡伟林  出版年:2001
阐述了微电子工业芯片制造而产生的含氟废水、硅片研磨废水以及纯水处理混床再生所产生的高浓度酸碱废水的处理方法 ,特别对含氟废水的处理进行了大胆的尝试 ,取得了明显的成效。对处理后的合格废水回收用作工艺设备及动力设备的冷却水...
关键词:含氟废水 研磨废水 酸碱废水 回收利用 微电子工业 废水处理
关于超大规模集成电路制造中的应力迁移问题
5
《电子器件》华越微电子有限公司 郭佳惠 祝六花  出版年:2000
应力迁移是影响集成电路 ( IC)金属配线可靠性的缺陷之一。它缘起于绝缘膜与金属配线之间的热应力。本文概要介绍两种性质的绝缘膜产生的两种应力缺陷以及检测方式 ,并分类说明金属膜厚、线宽、温度等与应力的关系。简要说明应力迁...
关键词:应力迁移  金属配线  ULSI 集成电路 制造  
我国微电子产业发展的问题与建议
6
《半导体技术》华越微电子有限公司 张晓新  出版年:2003
当今世界经济已从工业化进入信息化的发展阶段,微电子技术是高科技和信息产业的核心技术,成为当前新经济时代的基础产业。它在国民经济、国防建设以及现代信息化社会中起着极其重要的战略意义。我国微电子产业与国际水平相比还属于幼稚工...
关键词:中国  微电子产业 信息产业 产业规模  人才资源 政策扶持  投资决策  
温度对硅外延图形漂移的影响及监控
7
《集成电路应用》华越微电子有限公司 段路强  出版年:2018
中国电子信息产业集团华越微电子有限公司集成电路制造技术研究专项
<111>硅外延过程中图形漂移是影响外延质量的一个重要参数,在IC制造过程中,由于外延后的图形漂移使得后续光刻图形对偏情况时有发生,影响产品质量。本文通过对Si晶体的结构进行分析,解释了外延生长过程中图形漂移的原理,验证...
关键词:集成电路制造 外延  图形漂移  晶向
制药洁净厂房的净化空调设计
8
《洁净与空调技术》中国电子工程设计院;华越微电子有限公司 肖红梅 韩科勇  出版年:2003
结合工程实例和工艺要求重点介绍制药洁净厂房的空调系统的设计、设备选型、 运行控制要求及真空清扫系统等。
关键词:制药 洁净厂房  净化空调 设计  气流组织 压差控制 变风量调节  
超大规模集成电路中的CVD薄膜淀积技术
9
《电子工程师》华越微电子有限公司 高丽萍  出版年:2000
介绍了在超大规模集成电路制造工艺中 ,用化学气相 (CVD)方法淀积各种薄膜的反应机理和特性 ,及这些薄膜在器件制造工艺中的应用。
关键词:VLSI 薄膜  CVD 淀积 集成电路
几种新型恒流源集成电路
10
《电子技术应用》杭州大学电子工程系;华越微电子公司 蒋阜康 竺树声 陈连子 吴晓波 郑少波  出版年:1991
恒流源在电子线路、仪器仪表、传感器技术以及通信设备、光电子学、电化学等领域均有重要应用,构成恒流源的方法多种多样,人们关注的是能用一个器件或一块集成电路加极少外围元件获得精密恒流源。
关键词:恒流源 集成电路 电子线路
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