期刊文章详细信息
反渗透法制取电子级超纯水工艺的改进
IMPROVEMENT OF RO PROCESS FOR PREPARING THE ELECTROMIC-LEVEL ULTRA-PURE WATER
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]华越微电子有限公司,浙江绍兴312000
年 份：2001
卷 号：27
期 号：5
起止页码：296-299
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、JST、PROQUEST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊
摘 要：在现代大型微电子工业用超纯水系统中二级反渗透 + N2 配合真空膜脱气 +三级混床的工艺属当今最新开发的工艺 ,在大型系统中应用很少 ,我们通过三年多的不断摸索、实践和优化改进 ,最终将该套具有技术先进、投资少、结构紧凑、出水量大、品质高等特点的水系统很成功地稳定运行 ,解决了工艺流程中的缺陷和不足 。
关 键 词：反渗透 真空膜脱气 混床 电子级 超纯水 工艺改进 电子工业用水
分 类 号：TQ028.8] TN04]
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