期刊文章详细信息
微电子工业生产废水处理及回收利用
Treatment and reclamation utilization of the wastewater in microelectronic industry
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]华越微电子有限公司,浙江绍兴312016
年 份：2001
卷 号：21
期 号：12
起止页码：40-41
语 种：中文
收录情况：AJ、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、JST、ZGKJHX、普通刊
摘 要：阐述了微电子工业芯片制造而产生的含氟废水、硅片研磨废水以及纯水处理混床再生所产生的高浓度酸碱废水的处理方法 ,特别对含氟废水的处理进行了大胆的尝试 ,取得了明显的成效。对处理后的合格废水回收用作工艺设备及动力设备的冷却水 。
关 键 词：含氟废水 研磨废水 酸碱废水 回收利用 微电子工业 废水处理
分 类 号：X76]
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