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6 条 记 录,以下是 1-6

微加速度计中新型微杠杆机构设计和分析
1
《传感技术学报》重庆大学机械工程学院;重庆科技学院机械系;中国工程物理研究院电子工程研究所 何高法 唐一科 刘世明 何晓平  出版年:2007
中国工程物理研究院对本课题研究工作给予的资助和支持.
设计谐振式微加速度计时,需要考虑一个最关键的问题是提高其灵敏度.放大质量块产生的惯性力是提高灵敏度的最有效方法.基于柔性铰链技术设计一种新型两级微杠杆放大机构,并建立了放大机构的力学和数学模型,在此基础上进行了解析法分析...
关键词:微机电系统 微杠杆  柔性铰链 加速度计
谐振式微加速度计设计与加工误差分析
2
《传感器与微系统》重庆大学机械工程学院;重庆科技学院机械系;中国工程物理研究院电子工程研究所 何高法 唐一科 何晓平 吴英  出版年:2009
为提高谐振式微加速度计的灵敏度和精确度,设计了放大惯性力的柔性微杠杆机构,从理论上分析了微杠杆机构的不对称误差,设计了误差消除机构;经有限元仿真分析证明:所设计的机构能有效减小由不对称误差产生的横向力,有效地消除了放大机...
关键词:微杠杆  误差分析 加速度计
一种新型谐振式微加速度计设计和分析
3
《微纳电子技术》重庆大学机械工程学院;中国工程物理研究院电子工程研究所;重庆科技学院机械系 何高法 唐一科 何晓平 刘世明  出版年:2007
中国工程物理研究院电子研究所传感器和执行器中心以及中国工程物理研究院电子工程研究所的资助和支持.
为提高谐振式加速度计的灵敏度,设计了基于两级微杠杆机构和DETF谐振器的新型谐振式微加速度计结构;用解析法分析了加速度计灵敏度和结构各参数之间的关系,并以此对结构参数进行了优化设计。理论计算表明,所设计的加速度计灵敏度约...
关键词:微机电系统 微加速度计 谐振 微杠杆  
谐振式微加速度计驱动和检测结构设计及制作 ( EI收录)
4
《重庆大学学报(自然科学版)》重庆大学机械工程学院;重庆科技学院机械系;中国工程物理研究院电子工程研究所 何高法 唐一科 周传德 何晓平 吴英  出版年:2009
国家自然科学基金资助项目(60876088)
基于谐振式加速度计的工作原理和结构特点,设计了一种新型微加速度计谐振器,用解析法和有限元法计算了谐振器的横向驱动力以及其处于谐振状态时的检测电容值。综合粘性阻尼、运动阻尼和气膜阻尼,分析了谐振器在大气环境下的阻尼和品质因...
关键词:微机电系统 加速度计 谐振器 静电梳齿  
一种新型谐振式微加速度计设计和分析
5
第十届全国敏感元件与传感器学术会议 2007何高法 唐一科 何晓平 刘世明  出版年:2007
为提高谐振式加速度计的灵敏度,设计了基于两级微杠杆机构和DETF谐振器的新型谐振式微加速度计结构;用解析法分析了加速度计灵敏度和结构各参数之间的关系,并以此对结构参数进行了优化设计.理论计算表明,所设计的加速度计灵敏度约...
关键词:微机电系统 微加速度计 微杠杆  DETF谐振器  
一种新型谐振式微加速度计设计和分析
6
第十届全国敏感元件与传感器学术会议 2007何高法 唐一科 何晓平 刘世明  出版年:2007
为提高谐振式加速度计的灵敏度,设计了基于两级微杠杆机构和 DETF 谐振器的新型谐振式微加速度计结构;用解析法分析了加速度计灵敏度和结构各参数之间的关系,并以此对结构参数进行了优化设计。理论计算表明,所设计的加速度计灵敏...
关键词:微机电系统 微加速度计 谐振 微杠杆  
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