科研产出
- 微加速度计中新型微杠杆机构设计和分析
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- 《传感技术学报》重庆大学机械工程学院;重庆科技学院机械系;中国工程物理研究院电子工程研究所 何高法 唐一科 刘世明 何晓平 出版年:2007
- 关键词:微机电系统 微杠杆 柔性铰链 加速度计
- 谐振式微加速度计设计与加工误差分析
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- 《传感器与微系统》重庆大学机械工程学院;重庆科技学院机械系;中国工程物理研究院电子工程研究所 何高法 唐一科 何晓平 吴英 出版年:2009
- 关键词:微杠杆 误差分析 加速度计
- 一种新型谐振式微加速度计设计和分析
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- 《微纳电子技术》重庆大学机械工程学院;中国工程物理研究院电子工程研究所;重庆科技学院机械系 何高法 唐一科 何晓平 刘世明 出版年:2007
- 关键词:微机电系统 微加速度计 谐振 微杠杆
- 谐振式微加速度计驱动和检测结构设计及制作 ( EI收录)
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- 《重庆大学学报(自然科学版)》重庆大学机械工程学院;重庆科技学院机械系;中国工程物理研究院电子工程研究所 何高法 唐一科 周传德 何晓平 吴英 出版年:2009
- 关键词:微机电系统 加速度计 谐振器 静电梳齿
- 一种新型谐振式微加速度计设计和分析
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- 第十届全国敏感元件与传感器学术会议 2007何高法 唐一科 何晓平 刘世明 出版年:2007
- 关键词:微机电系统 微加速度计 微杠杆 DETF谐振器
- 一种新型谐振式微加速度计设计和分析
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- 第十届全国敏感元件与传感器学术会议 2007何高法 唐一科 何晓平 刘世明 出版年:2007
- 关键词:微机电系统 微加速度计 谐振 微杠杆