期刊文章详细信息
谐振式微加速度计设计与加工误差分析
Design of resonant micro accelerometer and analysis of fabricating error
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]重庆大学机械工程学院,重庆400030 [2]重庆科技学院机械系,重庆400050 [3]中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳621900
年 份：2009
卷 号：28
期 号：1
起止页码：10-12
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2008、CSCD、CSCD2011_2012、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊
摘 要：为提高谐振式微加速度计的灵敏度和精确度,设计了放大惯性力的柔性微杠杆机构,从理论上分析了微杠杆机构的不对称误差,设计了误差消除机构;经有限元仿真分析证明:所设计的机构能有效减小由不对称误差产生的横向力,有效地消除了放大机构不对称误差对谐振器的影响。分析了形状加工误差对加速度计性能的影响,为制作高灵敏度和高精确度加速度计提供了保障。
关 键 词：微杠杆 误差分析 加速度计
分 类 号：TH11] TN40]
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