文献类型：期刊文章

作　　者：何高法[1] 唐一科[1] 何晓平[2] 刘世明[3]

机构地区：[1]重庆大学机械工程学院,重庆400030 [2]中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳621900 [3]重庆科技学院机械系,重庆400050

出　　处：《微纳电子技术》

基　　金：中国工程物理研究院电子研究所传感器和执行器中心以及中国工程物理研究院电子工程研究所的资助和支持.

年　　份：2007

卷　　号：44

期　　号：7

起止页码：252-254

语　　种：中文

收录情况：AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、INSPEC、RCCSE、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：为提高谐振式加速度计的灵敏度,设计了基于两级微杠杆机构和DETF谐振器的新型谐振式微加速度计结构;用解析法分析了加速度计灵敏度和结构各参数之间的关系,并以此对结构参数进行了优化设计。理论计算表明,所设计的加速度计灵敏度约为56Hz/g;由有限元仿真分析也得出了相似的结论。

关 键 词：微机电系统 微加速度计 谐振 微杠杆  

分 类 号：TP212.12]