文献类型：期刊文章

作　　者：何高法[1] 唐一科[1] 刘世明[2] 何晓平[3]

机构地区：[1]重庆大学机械工程学院,重庆400030 [2]重庆科技学院机械系,重庆400050 [3]中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳621900

出　　处：《传感技术学报》

基　　金：中国工程物理研究院对本课题研究工作给予的资助和支持.

年　　份：2007

卷　　号：20

期　　号：7

起止页码：1535-1538

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：设计谐振式微加速度计时,需要考虑一个最关键的问题是提高其灵敏度.放大质量块产生的惯性力是提高灵敏度的最有效方法.基于柔性铰链技术设计一种新型两级微杠杆放大机构,并建立了放大机构的力学和数学模型,在此基础上进行了解析法分析和参数优化设计;同时利用有限元分析方法对其进行了仿真计算.计算结果显示机构的放大倍数约为102倍.这一设计方案极大地提高了微加速度计的灵敏度.

关 键 词：微机电系统 微杠杆  柔性铰链 加速度计

分 类 号：TN40] TP212.12]