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一种新型谐振式微加速度计设计和分析
文献类型：会议
作者单位：重庆科技学院机械与动力工程学院 重庆科技学院机械与动力工程学院 中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900 重庆科技学院,机械系,重庆,400050
会议文献：第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集
会议名称：第十届全国敏感元件与传感器学术会议
会议日期：2007年08月25日
会议地点：北京
主办单位：中国仪器仪表学会
语 种：中文
摘 要：为提高谐振式加速度计的灵敏度,设计了基于两级微杠杆机构和DETF谐振器的新型谐振式微加速度计结构;用解析法分析了加速度计灵敏度和结构各参数之间的关系,并以此对结构参数进行了优化设计.理论计算表明,所设计的加速度计灵敏度约为56 Hz/g;由有限元仿真分析也得出了相似的结论.
关 键 词：微机电系统 微加速度计 微杠杆 DETF谐振器
分 类 号：TP]
参考文献：
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