会议论文详细信息
一种新型谐振式微加速度计设计和分析
文献类型：会议
作者单位：重庆大学机械工程学院 重庆大学机械工程学院 中国工程物理研究院电子工程研究所 重庆科技学院机械系
会议文献：第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集
会议名称：第十届全国敏感元件与传感器学术会议
会议日期：20070800
会议地点：中国北京
主办单位：全国敏感元件与传感器学术团体联合组织委员会
出版日期：20070800
学会名称：中国航空学会
语 种：中文
摘 要：为提高谐振式加速度计的灵敏度,设计了基于两级微杠杆机构和 DETF 谐振器的新型谐振式微加速度计结构;用解析法分析了加速度计灵敏度和结构各参数之间的关系,并以此对结构参数进行了优化设计。理论计算表明,所设计的加速度计灵敏度约为56 Hz/g;由有限元仿真分析也得出了相似的结论。
关 键 词：微机电系统 微加速度计 谐振 微杠杆
分 类 号：TH824.4[仪器类]
参考文献：
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同被引文献：
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