文献类型：期刊文章

作　　者：何高法[1] 唐一科[1] 周传德[2] 何晓平[3] 吴英[2]

机构地区：[1]重庆大学机械工程学院,重庆400030 [2]重庆科技学院机械系,重庆401331 [3]中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳621900

出　　处：《重庆大学学报（自然科学版）》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60876088)

年　　份：2009

卷　　号：32

期　　号：9

起止页码：997-1001

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20094612457153)、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：基于谐振式加速度计的工作原理和结构特点,设计了一种新型微加速度计谐振器,用解析法和有限元法计算了谐振器的横向驱动力以及其处于谐振状态时的检测电容值。综合粘性阻尼、运动阻尼和气膜阻尼,分析了谐振器在大气环境下的阻尼和品质因子。应用MEMS(microelectromechanical system)工艺,完成了微加速度计谐振器的制作。测试结果表明:谐振器性能良好,谐振频率为54523.5 Hz,与设计的理论值误差约为13.6%。

关 键 词：微机电系统 加速度计 谐振器 静电梳齿  

分 类 号：TH11] TH7