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西安理工大学机械与精密仪器工程学院晶体生长设备研究所 收藏

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研究主题:单晶炉    激光晶体    硅    提拉法    直拉法    

研究学科:电子信息类    自动化类    

被引量:60H指数:5EI: 8 北大核心: 11 CSCD: 11

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30 条 记 录,以下是 1-10

利用J75型单晶炉拉制大直径光学晶体的可行性研究
1
《机械研究与应用》西安理工大学晶体生长设备研究所 王庆 李勇  出版年:2002
介绍了TDL
关键词:拉制 可行性研究  单晶炉 光学晶体
铝表面预镀镍工艺的研究
2
《热加工工艺》西安理工大学晶体生长设备研究所 夏承钰  出版年:1998
研究了铝化学镀Ni-P前表面预镀镍的工艺。试验结果表明.经过预镀镍处理后,铝表面可获得镍沉积的催化表面.有效防止了在化学镀Ni-P槽液中置换反应的发生。文中指出,为了保证镀层与基体之间有良好的结合强度,并防止预镀镍溶液内...
关键词:预镀镍  络合剂 结合强度  化学镀 铝材
论直拉单晶炉技术平台的逻辑演进 ( EI收录)
3
《人工晶体学报》西安理工大学晶体生长设备研究所 许扬 赵一谦 李剑侠 郑伟民 田炜 丁积军  出版年:2004
要求不断增大晶棒直径、不断提高晶体质量的晶圆市场 ,推动我国直拉单晶炉产品系列出现过三代更替 ,与此对应 ,产品赖以存在的技术平台也经历了三个阶段的演进。第四代产品研发需要在以往技术积累基础上 ,在炉室材料、炉体结构、焊...
关键词:直拉单晶炉  生长工艺  热场材料  磁场 密封方式  晶间敏化  焊接方法  
提高单晶炉真空密闭性能的探讨 ( EI收录)
4
《人工晶体学报》西安理工大学晶体生长设备研究所 许扬  出版年:2003
晶间腐蚀、应力腐蚀和缝隙腐蚀,是单晶炉炉室发生水渗漏的主要原因,因而是制造过程中材料选择、热加工工艺、机械设计与加工以及设备使用中要特别予以关注的问题。在至少380°以上温度进行热时效会强化材料的晶间敏化趋向,较合理的措...
关键词:单晶炉 真空密闭性能  晶体生长 奥氏体有锈钢  腐蚀  残余应力
激光晶体炉上称重法自动直径控制(ADC)技术 ( EI收录)
5
《人工晶体学报》西安理工大学晶体生长设备研究所;西安理工大学机械与精密仪器工程学院 董淑梅 李言 李留臣 王庆 楚波  出版年:2005
自动直径控制(ADC)技术是直拉法晶体生长设备的一项动直径控制方法,并从理论上分析了上称重法自动直径控制(ADC)原理,着重介绍了在传统TDL-J50A及TDL-J60激光晶体炉上自主开发的上称重法自动直径控制系统的机械...
关键词:激光晶体炉  自动直径控制  上称重法  
大尺寸单晶炉勾形磁场的优化设计 ( EI收录)
6
《人工晶体学报》西安理工大学晶体生长设备与系统集成国家地方联合工程研究中心 焦尚彬 刘丁 任宁  出版年:2010
国家科技重大专项(No.2009X02011001)
本文在分析cusp磁场抑制对流原理的基础上,采用有限元法对大尺寸单晶炉cusp磁场进行了建模。利用模型分析了磁场结构尺寸对磁场强度的影响,优化了磁场结构;分析了线圈规格对磁场功率的影响,优化了磁场功率;并通过实验验证了建...
关键词:cusp磁场  单晶炉 参数优化 功率优化
Y60A单晶炉的电气控制系统
7
《电子工业专用设备》西安理工大学晶体生长设备研究所 梁秀梅 张冰毅 董淑梅  出版年:2000
介绍了Y6 0A型单晶炉电气控制系统设计思路及工作原理 ,试验数据表明其提拉速度精度、控温精度、控温均匀度等技术指标的先进性。
关键词:单晶炉 控温精度  提拉速度精度  电气控制系统
新型硅芯晶体炉的开发与设计
8
《电子工业专用设备》西安理工大学晶体生长设备研究所;西安理工大学机仪学院 董淑梅 李言 王建春 郑伟民  出版年:2005
从分析硅芯晶体生长的工艺特点出发,简要介绍了硅芯晶体生长设备的设计思想以及新近开发设计的新型硅芯晶体炉的机械结构及电气控制系统。
关键词:硅芯炉  工艺特点 机械结构 电气控制
TDL-J60S激光晶体炉的开发研制
9
《电子工业专用设备》西安理工大学晶体生长设备研究所 董淑梅 王庆  出版年:2003
介绍了一种新开发的TDL-J60S激光晶体炉设备,设备的机械结构及电气控制,着重介绍 该设备的创新单元技术,上称重自动等径控制系统。
关键词:激光单晶炉  提拉系统  自动控径  
我国晶体生长设备的现状与发展 ( EI收录)
10
《人工晶体学报》西安理工大学晶体生长设备研究所 袁文愈  出版年:2000
1 我国晶体生长设备的现状我国人工晶体材料有了很大的发展 ,多种晶体处于世界先进水平。然而 ,从整体来看还很不适应国民经济和国防建设高速发展的需要 ,装备的制约是主要因素之一。在晶体材料的研究和开发方面 ,应重视材料的技...
关键词:晶体生长设备  单晶炉 生长控制装备  
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