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论直拉单晶炉技术平台的逻辑演进 ( EI收录)
On the Logical Evolution of the Technical Platform in CZ-crystal Pullers
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]西安理工大学晶体生长设备研究所,西安710048
年 份：2004
卷 号：33
期 号：3
起止页码：448-454
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：要求不断增大晶棒直径、不断提高晶体质量的晶圆市场 ,推动我国直拉单晶炉产品系列出现过三代更替 ,与此对应 ,产品赖以存在的技术平台也经历了三个阶段的演进。第四代产品研发需要在以往技术积累基础上 ,在炉室材料、炉体结构、焊接工艺、机械传动和电气控制、计算机智能控制、磁场发生装置和热场材料等方面进行新一轮技术创新。
关 键 词：直拉单晶炉 生长工艺 热场材料 磁场 密封方式 晶间敏化 焊接方法
分 类 号：O78] TQ054]
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