期刊文章详细信息
Y60A单晶炉的电气控制系统
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]西安理工大学晶体生长设备研究所,西安710048
年 份：2000
卷 号：29
期 号：1
起止页码：39-41
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：介绍了Y6 0A型单晶炉电气控制系统设计思路及工作原理 ,试验数据表明其提拉速度精度、控温精度、控温均匀度等技术指标的先进性。
关 键 词：单晶炉 控温精度 提拉速度精度 电气控制系统
分 类 号：TF806.9]
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