期刊文章详细信息
新型硅芯晶体炉的开发与设计
Design and Development of a New Silicon Core Crystal Growth Furnace
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]西安理工大学晶体生长设备研究所,陕西西安710048 [2]西安理工大学机仪学院,陕西西安710048
年 份：2005
卷 号：34
期 号：8
起止页码：7-9
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：从分析硅芯晶体生长的工艺特点出发,简要介绍了硅芯晶体生长设备的设计思想以及新近开发设计的新型硅芯晶体炉的机械结构及电气控制系统。
关 键 词：硅芯炉 工艺特点 机械结构 电气控制
分 类 号：TF806.9]
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