期刊文章详细信息
TDL-J60S激光晶体炉的开发研制
Research and Development of the TDL-J60S Laser Crystal Growth Furnace
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]西安理工大学晶体生长设备研究所,西安710048
年 份：2003
卷 号：32
期 号：6
起止页码：51-54
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：介绍了一种新开发的TDL-J60S激光晶体炉设备,设备的机械结构及电气控制,着重介绍 该设备的创新单元技术,上称重自动等径控制系统。
关 键 词：激光单晶炉 提拉系统 自动控径
分 类 号：TF806]
参考文献：
正在载入数据...
二级参考文献：
正在载入数据...
耦合文献：
正在载入数据...
引证文献：
正在载入数据...
二级引证文献：
正在载入数据...
同被引文献：
正在载入数据...
