沈阳芯源微电子设备有限公司 
研究主题：晶片 晶圆 半导体行业 涂胶 半导体设备
研究学科：电子信息类 自动化类 电气类 经济学类 机械类
- 用PLC脉冲输出控制步进电机
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- 《电工技术》沈阳芯源微电子设备有限公司;沈阳工业大学电气工程学院 苗涛 范永海 孙东丰 出版年：2008
- 关键词：步进电机 PLC 脉冲输出
- 硅片背面铜污染的清洗
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- 《半导体技术》沈阳芯源微电子设备有限公司 陈波 出版年：2011
- 关键词：铜污染 湿法 单片清洗 硅片背面 刻蚀
- 校企文化与协同培养工程科技人才研究
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- 《黑龙江高教研究》哈尔滨理工大学;沈阳芯源微电子设备有限公司 艾红 崔玉祥 宗润福 出版年：2016
- 关键词：校企合作 文化融合 协同机制
- 显影工艺及显影喷嘴的应用
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- 《中国高新科技》沈阳芯源微电子设备有限公司 郭聪 张怀东 出版年：2018
- 关键词：光刻工艺 显影工艺 显影喷嘴 喷洒方式
- 谈涂胶/显影设备中的关键装置——HP
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- 《科技资讯》沈阳芯源微电子设备有限公司;沈阳工业大学信息工程学院 苗涛 赵继忠 出版年：2008
- 关键词：HP 烘焙 PID
- 凸点下金属层湿法刻蚀与凸点底切的控制
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- 《半导体技术》沈阳芯源微电子设备有限公司 陈波 陈焱 谷德君 出版年：2009
- 关键词：凸点下金属层 湿法刻蚀 凸点底切 单片机 电镀凸点 刻蚀速率 刻蚀均匀度
- 对涂胶显影机与光刻机内联控制的研究
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- 《科技经济导刊》沈阳芯源微电子设备有限公司 王绍勇 黄琳琳 出版年：2018
- 关键词：光刻机 涂胶显影机 内联
- AZ4620光刻胶的喷雾式涂胶工艺
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- 《电子工业专用设备》沈阳芯源微电子设备有限公司 邢栗 汪明波 出版年：2011
- 关键词：喷雾式涂胶机 AZ4620光刻胶 膜厚 均匀性
- 应用于MEMS及3D-IC封装中的喷胶技术
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- 《电子世界》沈阳芯源微电子设备有限公司 张晨阳 邢栗 出版年：2018
- 关键词：封装技术 MEMS 喷胶 应用 IC封装 微电子机械系统 工艺质量 高集成度
- 单片湿法刻蚀机供酸管路系统设计
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- 《电子工业专用设备》沈阳芯源微电子设备有限公司 孙大伟 陈波 出版年：2009
- 关键词：硅片加工 湿法刻蚀 化学管路系统
