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显影工艺及显影喷嘴的应用
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]沈阳芯源微电子设备有限公司,辽宁沈阳110168
年 份：2018
期 号：20
起止页码：21-23
语 种：中文
收录情况：JST、普通刊
摘 要：集成电路(IntegratedCircuit,IC)的发明与应用是人类科技发展的重要进程之一。随着半导体科技的进步、工艺的提高,对半导体设备的要求也随之提高。作为IC应用大国,我国正以前所未有的力度发展IC产业,为有自己的"中国芯"而大力发展国产半导体设备替代国外设备,而关键工艺中的关键技术更是需要通过沉淀积累来厚积薄发。文章对显影工艺及显影喷嘴的应用进行介绍。
关 键 词：光刻工艺 显影工艺 显影喷嘴 喷洒方式
分 类 号：TN305]
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