期刊文章详细信息
谈涂胶/显影设备中的关键装置——HP
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]沈阳芯源微电子设备有限公司,辽宁沈阳110168 [2]沈阳工业大学信息工程学院,辽宁沈阳110023
年 份：2008
卷 号：6
期 号：10
起止页码：6-7
语 种：中文
收录情况：JST、NSSD、普通刊
摘 要：对涂胶/显影设备中的关键装置——HP(Hot Plate)进行系统的分析,介绍了该装置的工艺作用、控制器原理和PID参数的调整设置过程。
关 键 词：HP 烘焙 PID
分 类 号：TN305]
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