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绍兴文理学院数理信息学院材料物理与设备研究所 收藏

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研究主题:TIO2薄膜    TIO2    表面形貌    溅射法制备    晶体结构    

研究学科:电子信息类    

被引量:2H指数:1

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溅射法制备TiO2薄膜过程中靶中毒现象的消除及样品表征
1
《纳米科技》西华师范大学物理与电子信息学院;绍兴文理学院材料物理与设备研究所 王秩伟 龚恒翔 李雪 谌家军  出版年:2007
绍兴市科技局项目(No.2003141;No.2004147)
用氧脉冲直流反应磁控溅射法,在载玻片衬底上制备了不同初始氧浓度和不同断氧时间%的多晶TiO2纳米薄膜,并对薄膜的厚度、晶体结构及表面形貌进行了研究。研究发现,脉冲式通氧能有效消除靶中毒,将薄膜沉积速率最大提高到3~5nm...
关键词:TIO2 薄膜  靶中毒  晶体结构 表面形貌
脉冲供氧反应磁控溅射TiO2薄膜的结构和形貌研究
2
《中国材料科技与设备》西华师范大学物理与电子信息学院;绍兴文理学院材料物理与设备研究所 王秩伟 龚恒翔 李雪 谭永胜  出版年:2008
绍兴市科技局资助项目(2003141和2004147)
利用脉冲供氧反应磁控溅射制备了TiO2薄膜。分别用XRD和SEM研究了晶体结构和表面形貌。结果表明,当氧浓度高或Toff小,样品为锐钛矿结构,晶粒大小20~30nm;而当氧浓度低或Toff大,样品为金红石结构,晶粒大小1...
关键词:TIO2 脉冲供氧  反应磁控溅射 应变  形貌
氧脉冲磁控溅射法制备多晶TiO2薄膜
3
《纳米科技》西华师范大学物理与电子信息学院;绍兴文理学院材料物理与设备研究所 王秩伟 龚恒翔 李雪 谌家军  出版年:2008
利用一种改进的溅射方法在载波片上制备了多晶TiO2薄膜。由于该法在溅射过程中氧气控制得像脉冲一样,所以称之为氧脉冲直流磁控反应溅射。它能有效的减轻靶中毒,样品沉积速率达到传统反应溅射法的7倍左右。分别利用椭圆偏振测厚仪、...
关键词:TIO2薄膜 反应溅射 氧控制  沉积速率
Polycrystalline TiO2 Thin Films Deposited by a Modified Oxygen Pulse Magnetron Sputtering
4
第六届中国国际纳米科技研讨会 2007王秩伟 龚恒翔 李雪  出版年:2007
In this paper, polycrystalline TiO2 thin films were deposited on slide glass by a modified sputtering, which c...
关键词:TiO2 thin films  Reactive sputtering  Oxygen control  Deposition rate  
真空蒸发法金属铝薄膜制备实验的设备支持与功能扩展
5
2007年全国高等学校物理基础课程教育学术研讨会 2007龚恒翔 夏明荣 李雪  出版年:2007
本文通过对真空蒸发法铝薄膜制备仪器设备和教学效果的分析,列举了现有设备存在的不足,指出了能够达到良好实验教学效果的仪器设备必须具备的基本特征:(1)物理过程直观可见,激发学生兴趣;(2)操作简单,运行可靠,维护方便;(3...
关键词:真空蒸发法  铝薄膜制备  教学效果 实验教学 创造性学习  设备资源 物理教学
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