文献类型：期刊文章

作　　者：王秩伟[1,2] 龚恒翔[2] 李雪[2] 谌家军[1]

机构地区：[1]西华师范大学物理与电子信息学院,四川南充637002 [2]绍兴文理学院材料物理与设备研究所,浙江绍兴312000

出　　处：《纳米科技》

基　　金：绍兴市科技局项目（No.2003141;No.2004147）

年　　份：2007

卷　　号：4

期　　号：6

起止页码：50-54

语　　种：中文

收录情况：内刊、普通刊

摘　　要：用氧脉冲直流反应磁控溅射法，在载玻片衬底上制备了不同初始氧浓度和不同断氧时间％的多晶TiO2纳米薄膜，并对薄膜的厚度、晶体结构及表面形貌进行了研究。研究发现，脉冲式通氧能有效消除靶中毒，将薄膜沉积速率最大提高到3～5nm／min，并且当断氧时间大于30s时，沉积速率在2．5nm／min以上；薄膜的晶体结构和形貌随着氧浓度和断氧时间而变化，在初始氧浓度为30％、断氧时间为30s时，金红石结构样品具有最佳结晶程度，并且薄膜的表面平整、晶粒尺寸分布均匀，而锐钛矿结构的最佳结晶条件是氧浓度30％或50％、断氧时间20s.

关 键 词：TIO2 薄膜  靶中毒  晶体结构 表面形貌

分 类 号：TB43]