- 脉冲偏压对矩形平面大弧源离子镀TiN膜层性能的影响 ( EI收录)
- 1
- 《材料研究学报》哈尔滨工业大学材料学院现代焊接生产技术国家重点实验室;沈阳北宇真空设备厂;哈尔滨第一工具有限公司 林永清 巩春志 魏永强 田修波 杨士勤 关秉羽 于传跃 出版年：2008
- 关键词：无机非金属材料 离子镀 矩形靶 脉冲偏压 氮化钛 耐磨性
- 非平衡磁控溅射中调制磁场的作用
- 2
- 《真空》大连理工大学三束材料表面改性国家重点实验室;沈阳北宇真空机械厂 牟宗信 关秉羽 李国卿 宋林峰 出版年：2002
- 关键词：调制磁场 非平衡磁控溅射 薄膜 等离子体 镀膜工艺 调制作用
- 脉冲磁过滤阴极弧沉积中基片台悬浮电位研究
- 3
- 《核聚变与等离子体物理》大连理工大学三束材料改性国家重点实验室;沈阳北宇真空机械厂 邹学平 李国卿 丁振峰 张家良 牟宗信 关秉羽 出版年：2002
- 关键词：脉冲磁过滤 阴极弧 沉积 基片台悬浮电位 等离子体电位 复合探针 基片偏压
- 脉冲磁过滤阴极弧等离子体制备四面体非晶碳膜
- 4
- 《真空》大连理工大学三束材料改性国家重点实验室;沈阳北宇真空设备厂 张成武 李国卿 柳翠 关秉羽 出版年：2004
- 关键词：脉冲磁过滤阴极电弧法 四面体非晶碳膜 ta-C膜 拉曼光谱 偏压 类金刚石膜
- 一种等离子体蒸发镀膜机
- 5
- [实用新型] 沈阳市北宇真空设备厂;哈尔滨工业大学 20071228关秉羽 田修波 出版年：2008
