文献类型：期刊文章

作　　者：张成武[1] 李国卿[1] 柳翠[1] 关秉羽[2]

机构地区：[1]大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,辽宁大连116024 [2]沈阳北宇真空设备厂,辽宁沈阳110045

出　　处：《真空》

基　　金：国家 8 6 3计划 (2 0 0 1AA 3380 10 )

年　　份：2004

卷　　号：41

期　　号：4

起止页码：114-116

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：介绍了脉冲磁过滤阴极电弧法制备四面体非晶碳膜 (tetrahedral am orphous carbon即 ta- C) ,并对制得的薄膜表面形貌、硬度、电阻等进行了测试。结果表明 ,脉冲磁过滤阴极电弧法制备的 ta- C膜有优良的性能。拉曼光谱分析显示 ,制得的薄膜为非晶结构 ,有明显的 sp3结构特征 ,符合 ta-

关 键 词：脉冲磁过滤阴极电弧法  四面体非晶碳膜  ta-C膜  拉曼光谱 偏压 类金刚石膜

分 类 号：TB43]