文献类型：专利

专利类型：实用新型

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN200720117837.X

申 请 日：20071228

发 明 人：关秉羽 田修波

申 请 人：沈阳市北宇真空设备厂 哈尔滨工业大学

申请人地址：110045 辽宁省沈阳市东陵区望花中街140-1号

公 开 日：20081105

公 开 号：CN201144276Y

代 理 人：岳泉清

代理机构：23109 哈尔滨市松花江专利商标事务所

语　　种：中文

摘　　要：一种等离子体蒸发镀膜机，它涉及一种真空镀膜机。针对现有蒸发镀膜机镀膜质量难以保证的问题。本实用新型的进气管(2)的一端装在镀膜真空室体(1)内，镀膜真空室体(1)侧壁上设有室门(3)，泵组(4)装在镀膜真空室体(1)上，转台装置(5)装在镀膜真空室体(1)内，转动机构(8)与转轴(6)连接，转轴(6)与转台装置(5)固接，转轴(6)与匹配箱(10)和射频等离子体电源(9)连接，转台装置(5)上固装有具有工件支架功能的射频天线(12)，蒸发源电极(14)装在镀膜真空室体(1)的中间，蒸发源电极(14)之间设置电热丝(15)，电热丝(15)内放置有金属条或金属棒材(16)，电极电缆(19)的两端分别与蒸发电源(13)和蒸发源电极(14)固接。本实用新型可大大提高等离子体利用率、镀膜效率和膜层质量。

主 权 项：1、一种等离子体蒸发镀膜机，它由镀膜真空室装置、工装装置、等子体源装置和蒸发源装置组成；其特征在于所述镀膜真空室装置由镀膜真空室体(1)、进气管(2)、室门(3)、泵组(4)组成；所述工装装置由转台装置(5)、转轴(6)、第一绝缘件(7)、转动机构(8)、绝缘动密封件(17)组成；所述等离子体源装置由射频等离子体电源(9)、匹配箱(10)、具有工件支架功能的射频天线(12)组成；所述蒸发源装置由蒸发电源(13)、蒸发源电极(14)、电热丝(15)、金属条或金属棒材(16)、第二绝缘件(18)、电极电缆(19)组成；所述进气管(2)的一端穿过镀膜真空室体(1)的底端面装在镀膜真空室体(1)内，镀膜真空室体(1)侧壁上设有室门(3)，所述泵组(4)的输入端装在镀膜真空室体(1)的侧壁上且与镀膜真空室体(1)连通，所述转台装置(5)装在镀膜真空室体(1)内的底端面上，所述设置在镀膜真空室体(1)外面的转动机构(8)的输出端与转轴(6)的输入端通过第一绝缘件(7)连接，转轴(6)的输出端穿过装在镀膜真空室体(1)底端面的绝缘动密封件(17)与装在镀膜真空室体(1)内的转台装置(5)固接，转轴(6)通过设置在镀膜真空室体(1)外面的导线与匹配箱(10)和射频等离子体电源(9)的输出极连接，所述转台装置(5)上固装有具有工件支架功能的射频天线(12)，所述至少两个蒸发源电极(14)装在镀膜真空室体(1)的中间，至少两个蒸发源电极(14)之间沿纵向设置有一组水平放置的电热丝(15)，每个电热丝(15)的两端与蒸发源电极(14)连接，每个电热丝(15)内放置有金属条或金属棒材(16)，电极电缆(19)的一端与设置在镀膜真空室体(1)外面的蒸发电源(13)的两端连接，电极电缆(19)的另一端穿过装在镀膜真空室体(1)顶端面上的第二绝缘体(18)与蒸发源电极(14)的顶端固接。

关 键 词：镀膜真空  蒸发源电极  转台装置  转轴  等离子体 蒸发镀膜  电热丝 固接  射频  等离子体电源  真空镀膜机 电极电缆  镀膜效率  镀膜质量  工件支架  金属棒材  膜层质量 蒸发电源  转动机构  进气管  连接  泵组  侧壁  匹配  天线  金属  

IPC专利分类号：C23C14/24(20060101)