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沈阳市北宇真空设备厂 收藏

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研究主题:等离子体    TIN膜层    氮化钛    非平衡磁控溅射    耐磨性    

研究学科:

被引量:17H指数:3EI: 1 北大核心: 4 CSCD: 2

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