河北工业大学信息工程学院 
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研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
研究学科:电子信息类 自动化类 电气类 机械类 交通运输类
被引量:3,934H指数:20WOS: 60 EI: 204 北大核心: 744 CSCD: 488
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排序方式:
- 四探针技术测量薄层电阻的原理及应用
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- 《半导体技术》河北工业大学微电子技术研究所 刘新福 孙以材 刘东升 出版年:2004
- 国家自然科学基金资助课题(69272001);河北省自然科学基金项目(602076);天津市自然科学基金项目(013602011)
- 对四探针技术测试薄层电阻的原理进行了综述,重点分析了常规直线四探针法、改进范德堡法和斜置式方形Rymaszewski 法的测试原理,并应用斜置式Rymaszewski 法研制成新型的四探针测试仪,利用该仪器对样品进行了微...
- 关键词:四探针 薄层电阻 Rymaszewski法 范德堡法
- 一维光子晶体的光学传输特性分析 ( EI收录)
- 2
- 《光子学报》军械工程学院光学与电子工程系;河北工业大学微电子研究所 段晓峰 牛燕雄 张雏 张存善 出版年:2003
- 采用等效F P腔方法对一维光子晶体进行研究 ,计算并讨论不同周期数的一维光子晶体对光学传输特性的影响 计算结果表明 ,一维光子晶体具有光子禁带 ,表现为对光的高反射率 ;掺杂的一维光子晶体的光子禁带中央将出现频宽极窄的...
- 关键词:一维光子晶体 光学传输特性 等效F-P腔方法 周期数 光子禁带 光子局域 缺陷态
- 压力传感器温度漂移补偿的RBF网络模型 ( EI收录)
- 3
- 《仪器仪表学报》河北工业大学计算机科学与软件学院;河北工业大学信息工程学院 何平 潘国峰 孙以材 赵红东 张银慧 出版年:2008
- 河北省自然科学基金(F2007000096)资助项目
- 压力传感器在实际应用中普遍存在着温度漂移现象,这降低了传感器的测量精度,因此需要采取适当的补偿措施对传感器的温度附加误差进行修正,从而提高测量的准确性。本文针对在压力传感器电路中采用温度硬件补偿措施成本较高且精度不高的情...
- 关键词:压力传感器 温度漂移补偿 RBF网络 硬件补偿 软件补偿
- 单向分布钢纤维增强水泥基复合材料(Ⅱ):制备及钢纤维增强作用 ( EI收录)
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- 《建筑材料学报》河北工业大学土木工程学院;河北工业大学信息工程学院 慕儒 李辉 王晓伟 赵全明 邱欣 出版年:2015
- 河北省科技计划项目(12213803);河北省教育厅重点基金资助项目(409703)
- 研究了制备单向分布钢纤维混凝土的方法及单向分布钢纤维对混凝土劈裂抗拉强度和弯曲抗拉强度的增强作用.在钢纤维混凝土成型振动时,对试模中的混凝土拌合物施加匀强磁场,钢纤维受到磁场力作用,方向趋同于磁场方向,硬化后即制备出单向...
- 关键词:单向分布钢纤维混凝土 纤维方向效应系数 劈裂抗拉强度 弯曲抗拉强度
- 一种有监督的LPP算法及其在人脸识别中的应用 ( EI收录)
- 5
- 《电子与信息学报》河北工业大学信息工程学院 张志伟 杨帆 夏克文 杨瑞霞 出版年:2008
- 为了提高局部保持投影算法(Locality Preserving Projections,LPP)对光照、姿态等外部因素的鲁棒性,该文对传统的LPP算法进行改进,提出了一种有监督的LPP(SLPP)方法。首先对LPP子空...
- 关键词:人脸识别 子空间 局部保持投影 线性判别分析
- 基于蚂蚁算法的QoS组播路由问题求解
- 6
- 《河北工业大学学报》河北工业大学信息学院 顾军华 侯向丹 宋洁 李琳 出版年:2002
- 河北省自然科学基金项目资助(601055)
- 采用启发式算法中的蚂蚁算法解决了包含带宽、延时、延时抖动、包丢失率和最小花费等约束条件在内的QoS组播路由问题.实验表明算法能快速找到最优解,而且具有良好的扩充性.
- 关键词:QOS 启发式算法 蚂蚁算法 组播路由 服务质量 网络传输
- 单向分布钢纤维增强水泥基复合材料(I):钢纤维方向控制 ( EI收录)
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- 《建筑材料学报》河北工业大学土木工程学院;河北工业大学信息工程学院 慕儒 邱欣 赵全明 李辉 出版年:2015
- 河北省科技计划项目(12213803);河北省教育厅重点基金资助项目(409703)
- 对恒定匀强磁场作用下钢纤维增强水泥净浆中钢纤维的受力状况及转动运动状态进行了分析,确定了钢纤维转动角加速度与磁场磁感应强度及磁场作用时间之间的关系,并据此计算了钢纤维达到设计方向所需的磁场磁感应强度及磁场作用时间,从而确...
- 关键词:钢纤维增强水泥净浆 钢纤维方向系数 单向分布钢纤维 制备方法
- 最佳屏蔽二进阵列偶理论研究 ( EI收录)
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- 《电子学报》北京邮电大学;燕山大学红外光纤与传感器研究所;河北工业大学信息学院 蒋挺 候蓝田 赵晓群 出版年:2004
- 国家自然科学基金 (No .69972 0 4 2 ) ;河北省博士基金
- 本文提出了一种新的周期相关信号 ,即最佳屏蔽二进阵列偶 ,研究了它的性质和频谱特性 ,为有效地搜索出最佳屏蔽二进阵列偶 ,给出了它的组合允许条件 。
- 关键词:最佳信号 阵列偶 信息理论 相关信号
- ULSI硅衬底的化学机械抛光 ( EI收录)
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- 《Journal of Semiconductors》河北工业大学微电子技术与材料研究所;天津理工学院光电信息系 张楷亮 刘玉岭 王芳 李志国 韩党辉 出版年:2004
- 国家科技型中小企业技术创新基金 (编号 :0 0 C2 62 112 0 0 92 5 );天津市科技攻关 (编号 :0 13 180 3 11)资助项目~~
- 在分析 UL SI中硅衬底 CMP的动力学过程基础上 ,提出了在机械研磨去除产物过程中 ,适当增强化学作用可显著改善产物的质量传输过程 ,从而提高抛光效率 .在对不同粒径分散度的硅溶胶抛光液进行比较后提出了参与机械研磨的...
- 关键词:硅衬底 化学机械抛光(CMP) ULSI 纳米研磨料 动力学过程
- 准最佳二进阵列偶 ( EI收录)
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- 《电子学报》燕山大学红外光纤与传感器研究所;河北工业大学信息学院 蒋挺 赵晓群 李琦 贾志成 候蓝田 出版年:2003
- 国家自然科学基金 (No :69972 0 4 2 ) ;河北省博士基金
- 本文在最佳二进阵列、准最佳二进阵列和最佳二进阵列偶的基础上 ,定义了一种新的最佳信号 ,即准最佳二进阵列偶 .讨论了准最佳二进阵列偶的体积、变换性质 ,并对其进行了Fourier频谱分析 ,得到了部分有益的结果 .还用计...
- 关键词:信息论 最佳二进阵列偶 准最佳二进阵列 阵列偶 信号理论