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河北工业大学信息工程学院

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研究主题：CMP 化学机械抛光抛光液去除速率 ULSI

研究学科：电子信息类自动化类电气类机械类交通运输类

被引量：3,949H指数：20WOS: 60 EI: 204 北大核心: 744 CSCD: 488

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信息工程学院: 1; 发文量：1,374被引量：3,949H指数：20; 研究主题：CMP 化学机械抛光抛光液去除速率 ULSI

信息工程学院微电子技术与材料研究所: 2; 发文量：302被引量：836H指数：12; 研究主题：CMP 化学机械抛光抛光液去除速率 ULSI

信息工程学院电子信息工程系: 3; 发文量：19被引量：50H指数：4WOS: 1; 研究主题：多相正交序列压力传感器互相关自相关 CDMA通信系统

信息工程学院电子科学技术系: 4; 发文量：3被引量：15H指数：2EI: 1 WOS: 1; 研究主题：压力传感器温度补偿智能化传感器压力灵敏度

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