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上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室 收藏

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研究主题:铰链    设计方法    柔性铰链    半导体技术    计算机仿真    

研究学科:电子信息类    机械类    电气类    航空航天类    

被引量:21H指数:2EI: 2 北大核心: 6 CSCD: 4

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9 条 记 录,以下是 1-9

仿昆扑翼微飞行器中高效传动铰链的研究 ( EI收录)
1
《上海交通大学学报》上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室 邹才均 张卫平 柯希俊 邵云立 张伟 柴双双 胡楠 叶以楠 陈文元  出版年:2014
教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET 10-0583);教育部支撑项目(62501040303);国防项目(9140A26020313JW03371)
针对仿昆扑翼微飞行器对高效传动铰链的要求,从几何约束、应力条件、临界屈曲条件等方面,结合电磁驱动仿昆扑翼微飞行器对异质复合型柔性铰链进行了研究,给出了铰链的设计方法;研究了预应力对整个传动机构并联刚度以及铰链连接方式对整...
关键词:扑翼微飞行器  复合型柔性铰链  设计方法
微型电磁式振动能量采集器的设计和电磁特性仿真研究
2
《合肥工业大学学报(自然科学版)》上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室 王佩红 戴旭涵 方东明 赵小林  出版年:2008
国家自然科学基金资助项目(50405013);863计划资助项目(2006aa04z360);微米/纳米加工技术国家级重点实验室(上海交通大学)基金资助项目(9140C790301060C79);上海市科委重点实验室基金资助项目(05dz22309)
为了设计出结构合理、性能优良的微型电磁式振动能量采集器,利用Ansoft Maxwell软件对模型的结构参数和输出电动势之间的关系进行有限元仿真,分析发现:随着圆形永磁体厚度、悬臂梁振幅的增加及悬臂梁和永磁体间距的减小,...
关键词:半导体技术 电磁式振动能量采集器  结构优化 计算机仿真 输出特性  
硅通孔内铜电沉积填充机理研究进展(英文)
3
《电化学》上海交通大学;上海交通大学电子信息与电气工程学院 孙云娜 吴永进 谢东东 蔡涵 王艳 丁桂甫  出版年:2022
supported by the National Key Research and Development Program of China (No. 2021YFB2011800);Consultation and Evaluation Project of the Faculty of the Chinese Academy of Sciences (No. 2020-HX02-B-030)。
上海交通大学多元兼容集成制造技术团队针对TSV互连的深孔填充电镀难题,借助有限元软件和任意拉格朗日-欧拉算法,完成了方程组的数值解算,实现了TSV填充模式的数值仿真。利用有限元和任意拉格朗日-欧拉算法分析了盲孔的填充机制...
关键词:硅通孔  数值模拟 铜电沉积机理  任意拉格朗日-欧拉  2.5D转接板  
圆盘型非接触压电微马达定子的振动分析 ( EI收录)
4
《振动.测试与诊断》上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米科学技术研究院 周广华 杨斌 刘景全 蔡炳初  出版年:2005
国家自然科学基金资助项目(编号:50205017)
提出一种圆盘型非接触压电微马达,采用有限元方法分析了马达定子的振动模态和固有频率,对定子的振幅与施加电压的关系进行了数值分析。最后,采用激光多谱勒测振仪对定子的振型和振幅进行了测试,实验结果与有限元分析吻合较好,为马达定...
关键词:压电马达 非接触 定子 有限元方法
可集成制造的平面型电磁直线作动器研究
5
《半导体光电》上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室;上海交通大学先进电子材料与器件平台 武强 管伟昌 戴旭涵 王怀治 高宇帆 丁桂甫  出版年:2022
国家自然科学基金项目(51875337);国家基础科研计划项目(JCKY2019602B004)。
电磁作动器具有输出力大、行程长、无接触等优势,在通信、自动测试、电力电子等领域有着广泛的应用,但受限于体积大、制造工艺复杂,难以满足相关领域电子系统向微型化、集成化的发展需求。针对上述问题,应用平面型集成线圈及高深宽比微...
关键词:微电磁驱动器  微线圈  集成制造  
液相法制备纳米粒子的粒径控制研究
6
第五届中国功能材料及其应用学术会议 2004张效岩 王英 张亚非  出版年:2004
液相法是目前制备纳米粒子的重要方法之一.本文简要地阐述了液相法制备纳米粒子时粒径控制的机理,并在液相法过程特征的基础上,重点分析了影响粒径分布和形状控制的几个最主要因素,详细解释了化学计量学方法在控制纳米拉子粒度及其分布...
关键词:纳米粒子  液相法 粒径控制 化学计量学
纳米粒子单层膜作掩模的纳米刻蚀技术研究
7
中国微米、纳米技术第七届学术会年会 2005王英 杨明来 张效岩 蔡炳初 徐东 张亚非  出版年:2005
采用LB(langmuir-blodgett)排布技术制备了大面积高密度的FePt纳米粒子单层膜,利用纳米粒子单层膜作为掩模,通过反应离子刺蚀技术进行了纳米刘蚀研究。实验结果表明,采用纳米拉子单层膜作为掩模,通过控制反应...
关键词:LB膜 纳米粒子  掩模 纳米刻蚀
基于智能复合微结构的亚手掌尺度压电双驱扑翼微飞行器的研究
8
《压电与声光》上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室 魏铭辰 张卫平 王晨阳 赵佳欣 孟冉  出版年:2020
教育部基金资助项目(6141A02022607,6141A02022627);预研基金资助项目(1816311ZT005020,301020803,17070107);上海市科委基金资助项目(19511104202);上海专业技术服务平台基金资助项目(19DZ2291103)。
该文设计、制作和研究了一种亚手掌尺度的双驱扑翼微飞行器。飞行器主要采用多层平面材料的智能复合微结构(SCM)加工工艺进行加工。装配得到的样机整机质量为244 mg,翼展61 mm。对样机的压电驱动器性能进行了测试。测试结...
关键词:扑翼微飞行器  智能复合微结构  传动机构 激光切割 双压电驱动器  
微流控静态液滴阵列芯片制备非球形微粒
9
《微纳电子技术》上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室 曹梦佳 张维军 曹哲 于洋 程丹彤 陈翔 刘景全 王晓林 杨斌  出版年:2018
上海市科委基础重大研发计划资助项目(17JC1401001)
针对静态液滴阵列(SDA)微流控芯片中的毛细阀现象进行机制研究,探讨了流阻及表面张力对SDA芯片中微液滴的生成与存储过程的影响。通过Fluent软件模拟流体流动情况,并对照实验结果进行讨论,同时通过OpenCV图像处理技...
关键词:微流控芯片 静态液滴阵列(SDA)  毛细阀  表面张力  非球形微粒  
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