文献类型：期刊文章

作　　者：武强[1] 管伟昌[2] 戴旭涵[1] 王怀治[1] 高宇帆[1] 丁桂甫[1]

WU Qiang;GUAN Weichang;DAI Xuhan;WANG Huaizhi;GAO Yufan;DING Guifu(National Key Laboratory of Micro/Nano Fabrication Technology,Shanghai Jiao Tong University,Shanghai Jiao Tong University,CHN;Center for Advanced Electronic Materials and Devices,Shanghai Jiao Tong University,CHN)

机构地区：[1]上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室 [2]上海交通大学先进电子材料与器件平台

出　　处：《半导体光电》

基　　金：国家自然科学基金项目(51875337);国家基础科研计划项目(JCKY2019602B004)。

年　　份：2022

卷　　号：43

期　　号：6

起止页码：1092-1098

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2020、CAS、IC、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：电磁作动器具有输出力大、行程长、无接触等优势,在通信、自动测试、电力电子等领域有着广泛的应用,但受限于体积大、制造工艺复杂,难以满足相关领域电子系统向微型化、集成化的发展需求。针对上述问题,应用平面型集成线圈及高深宽比微结构设计,制造了一种微型化电磁作动器的原型样机,初步测试结果表明,器件的输出力可达毫牛量级,输出位移大于50μm,响应时间小于10 ms,为进一步开展相关器件研究探明了可行的技术路径。

关 键 词：微电磁驱动器  微线圈  集成制造  

分 类 号：TM359.9]