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内蒙古大学半导体能源实验室

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研究主题：SNO 半导体材料 CUINSE2 超微粒 CVD法

研究学科：电子信息类

被引量：7H指数：2WOS: 2 EI: 1 北大核心: 1 CSCD: 3

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CuInSe_2薄膜特性研究 ( EI收录): 1; 《太阳能学报》内蒙古大学半导体能源实验室季秉厚罗永胜李蓉萍出版年：1991; 国家自然科学基金; 利用元素合成法合成了具有单一黄铜矿结构的CuInSe_2(CIS)多晶材料。通过微处理机控制系统,控制蒸发CIS和Cu或控制蒸发CIS和Se制备CIS薄膜。对制备的CIS薄膜的光学性质、电学性质、组份、结构与工艺条件的关...; 关键词：薄膜特性半导体材料 CUINSE2

真空蒸发CVD法研制超微粒SnO_2薄膜: 2; 《内蒙古大学学报（自然科学版）》内蒙古大学半导体能源实验室李蓉萍季秉厚出版年：1990; 用真空反应蒸发,在玻璃、陶瓷及Si-SiO_2衬底上获得晶粒线度为90至0.2μm的超微粒SnO_2薄膜,对薄膜的结构、形貌及其电学性质和光学性质进行了研究。通过控制掺杂,使薄膜具有优良的湿敏特性和气敏特性。; 关键词：薄膜 SNO2 超微粒真空蒸发 CVD法

SnO_2-ZnO薄膜的热处理效应: 3; 《内蒙古大学学报（自然科学版）》内蒙古大学半导体能源实验室李蓉萍敖玉琴季秉厚出版年：1993; 国家自然科学资金资助项目; 用电子束蒸发的方法,在1.33×10^(-3)Pa的真空中蒸发SnO_2-ZnO陶瓷及掺杂荆,获得超微粒结构的SnO_2-ZnO薄膜,薄膜在氮气和氧气气氛中进行热处理。经热处理后,薄膜的结构、电学及光学性能得到改善。由这...; 关键词：薄膜热处理陶瓷半导体氧化锌

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